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抗蝕劑組合物的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):2693131

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本發(fā)明涉及一種對(duì)紫外線、遠(yuǎn)紫外線、X射線、電子射線等的粒子射線 等放射線感應(yīng)的抗蝕劑組合物,該抗蝕劑組合物使用時(shí)的安全性?xún)?yōu)異,并且 涂布性、顯影時(shí)的殘膜率、顯影后的圖案的線寬均一性?xún)?yōu)異,同時(shí)顯影時(shí)的 密合性也優(yōu)異。背景技術(shù)在制造集成電路、濾色片、液晶元件等時(shí)要求精密加工,為了滿(mǎn)足該要 求,此前,使用了抗蝕劑。 一般來(lái)說(shuō),抗蝕劑有正性的和負(fù)性的抗蝕劑,通 常,任何一種都可以溶解在溶劑中制成溶液狀態(tài)的抗蝕劑組合物。該抗蝕劑組合物通過(guò)旋涂法、輥涂法、狹縫涂布法、...
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