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具有氮化物系異質(zhì)結(jié)構(gòu)的器件及其制造方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):2691031

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本發(fā)明涉及一種具有氮化銦(InN)本身或以InN為主要成分的氮化物系異質(zhì)結(jié)構(gòu)的光學(xué)和/或電子器件(作為光通信用的光源的溫度特性好的半導(dǎo)體激光二極管,發(fā)光二極管,毫微微秒領(lǐng)域的超高速光控制器件,共鳴隧道二極管,超高速超省電力器件等)及其制造方法。在本說明書中,所謂以InN為主要成分是指材料中含InN在50%以上。另外,所謂氮極性表面或具有與它同樣特性的表面是指例如(001)面或(101)面等那樣,以有極性作為氮極性的表面,和從該表面在10度以內(nèi)傾斜的表面。背...
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