技術編號：2686377
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明屬于半導體領域和光電集成領域，特別是涉及ー種光柵耦合器及其制作方法。背景技術集成娃基光學系統，由于其小的器件尺寸，以及與傳統集成電路CMOSエ藝良好的兼容性，成為目前研究的ー個熱點。許多微納米器件已經在硅基上實現集成，如激光器、調制器、濾波器、耦合器、緩存器等。而光柵用于實現耦合器功能，有著耦合面積小、耦合效率高等優(yōu)點，從而廣泛用在平面光學系統中。Si和SiO2的高折射差(約2. O)為實現納米光波導和超小尺度的集成光波導器件 提供了可能性，在光通信...
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