技術(shù)編號(hào):2682074
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒(méi)有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種在被處理基板上涂布液體的技術(shù),特別涉及一種以無(wú)旋轉(zhuǎn)方式在基板上形成涂布膜的涂布方法和涂布裝置。背景技術(shù) 最近,在平板顯示器(FPD)制造過(guò)程的照相平版印刷(photolithography)工序中,作為有利于被處理基板(如玻璃基板)大型化的抗蝕劑(resist)涂布法,普及有使長(zhǎng)型抗蝕劑噴嘴一邊從其狹縫狀噴出口呈帶狀噴出抗蝕劑液,一邊對(duì)于基板作相對(duì)移動(dòng)或掃描,不需要旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng),在基板上涂布抗蝕劑液形成所期望的膜厚的無(wú)旋轉(zhuǎn)方式(例如參照專利文獻(xiàn)1...
注意:該技術(shù)已申請(qǐng)專利,請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出,在未取得專利權(quán)人授權(quán)前,僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備,不適合論文引用。