技術(shù)編號：2681888
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及光刻設(shè)備、可編程圖案形成裝置和器件制造方法。背景技術(shù)光刻設(shè)備是施加期望的圖案到襯底或一部分襯底上的機器。光刻設(shè)備可以用于例 如集成電路(1C)、平板顯示器以及具有精細(xì)特征的其它裝置或結(jié)構(gòu)的制造中。在傳統(tǒng)的光刻設(shè)備中，可以將稱為掩?；蜓谀０娴膱D案形成裝置用于產(chǎn)生對應(yīng)于1C、平板顯示器或其它裝置的單層的電路圖案?？梢詫⑦@一圖案轉(zhuǎn)移到襯底(例如硅晶片或玻璃板)(的一部分)上，例如經(jīng)由成像將所述圖案轉(zhuǎn)移到在所述襯底上設(shè)置的輻射敏感材料(抗蝕劑)層上。除了...
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