技術(shù)編號(hào)：2681856
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及光刻設(shè)備、可編程圖案形成裝置和器件制造方法。背景技術(shù)光刻設(shè)備是施加期望的圖案到襯底或一部分襯底上的機(jī)器。光刻設(shè)備可以用于例 如集成電路(1C)、平板顯示器以及具有精細(xì)特征的其它裝置或結(jié)構(gòu)的制造中。在傳統(tǒng)的光刻設(shè)備中，可以將稱為掩?；蜓谀０娴膱D案形成裝置用于產(chǎn)生對(duì)應(yīng)于1C、平板顯示器或其它裝置的單層的電路圖案?？梢詫⑦@一圖案轉(zhuǎn)移到襯底(例如硅晶片或玻璃板)(的一部分)上,例如經(jīng)由成像將所述圖案轉(zhuǎn)移到在所述襯底上設(shè)置的輻射敏感材料(抗蝕劑)層上。除了...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。