技術(shù)編號：2681509
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及向具有感光性的基板轉(zhuǎn)印圖案的掃描曝光。本申請基于在2010年2月2日申請的美國預(yù)申請61/300，574號、以及61/300，599 號主張優(yōu)先權(quán)并在此援引其全部內(nèi)容。背景技術(shù)作為個人計算機(jī)、電視等顯示元件，多用液晶顯示面板。最近，研究有通過以光刻的手法在可撓性的高分子片材(感光性基板)上對透明薄膜電極進(jìn)行圖案形成來制造顯示面板的方法。作為在該光刻工序中使用的曝光裝置，提出有將掩模的圖案轉(zhuǎn)印于由卷對卷 (Roll to Roll)輸送的帶狀的感光...
注意：該技術(shù)已申請專利，請尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。