技術(shù)編號：2680509
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種光罩保護(hù)膜的卸除裝置，特別是關(guān)于應(yīng)用在卸除光罩保護(hù)膜過程中，可避免不小心刮傷光罩的一種光罩保護(hù)膜的卸除裝置。背景技術(shù) 光罩在整個(gè)半導(dǎo)體工藝中可謂相當(dāng)重要的一環(huán)，光罩是高精密度的石英平板，用來制作芯片上電子電路圖像，以利集成電路的制作。所以光罩的制造和保存皆十分嚴(yán)格，才能使精準(zhǔn)的光罩得到妥善保存，從而微影后所呈現(xiàn)的電路圖像才會(huì)符合預(yù)定的要求。否則，利用有缺陷或刮傷的光罩進(jìn)行微影工藝時(shí)，不完美的電路圖像便會(huì)被復(fù)制到芯片上，進(jìn)而使得制造的產(chǎn)品出現(xiàn)問...
注意：該技術(shù)已申請專利，請尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。