專(zhuān)利名稱(chēng)：光罩保護(hù)膜的卸除裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種光罩保護(hù)膜的卸除裝置，特別是關(guān)于應(yīng)用在卸除光罩保護(hù)膜過(guò)程中，可避免不小心刮傷光罩的一種光罩保護(hù)膜的卸除裝置。
背景技術(shù)：
光罩在整個(gè)半導(dǎo)體工藝中可謂相當(dāng)重要的一環(huán)，光罩是高精密度的石英平板，用來(lái)制作芯片上電子電路圖像，以利集成電路的制作。所以光罩的制造和保存皆十分嚴(yán)格，才能使精準(zhǔn)的光罩得到妥善保存，從而微影后所呈現(xiàn)的電路圖像才會(huì)符合預(yù)定的要求。否則，利用有缺陷或刮傷的光罩進(jìn)行微影工藝時(shí)，不完美的電路圖像便會(huì)被復(fù)制到芯片上，進(jìn)而使得制造的產(chǎn)品出現(xiàn)問(wèn)題，浪費(fèi)生產(chǎn)成本。
隨著半導(dǎo)體技術(shù)的進(jìn)步，半導(dǎo)體元件的尺寸愈來(lái)愈小，集成電路愈來(lái)愈精密。而隨著微影成像技術(shù)的發(fā)展，光罩的線(xiàn)幅尺寸(Critical Dimension；CD)已進(jìn)入0.18微米，甚至是0.13微米以下。然而，具有更精密的線(xiàn)幅尺寸的光罩，意味著制作光罩的成本越加昂貴，所以在保存及應(yīng)用光罩時(shí)需更加小心。
一般而言，光罩借著蓋于其上的光罩保護(hù)膜而得以保護(hù)，免于受到外界的傷害及沾上不必要的塵灰。
請(qǐng)同時(shí)參考圖1A、圖1B和圖2，圖1A和圖1B所繪示為公知具有光罩保護(hù)膜的光罩的立體示意圖，圖2所繪示為光罩保護(hù)膜的公知卸除器具的示意圖。如圖1A和圖1B所示的光罩10，其光罩保護(hù)膜12兩旁皆具有多個(gè)孔洞14(一般共有四個(gè)，分置于兩旁)，這些孔洞供工作人員利用公知卸除器具進(jìn)行卸除時(shí)用。如圖2所示，公知卸除器具16具有供握持的手柄18，且于卸除器具16的頂端具有支撐元件20以及供插入孔洞14的突出物22。在進(jìn)行卸除光罩保護(hù)膜12時(shí)，工作人員首先固定具有光罩保護(hù)膜12的光罩10，例如用手將具有光罩保護(hù)膜12的光罩10固定于工作臺(tái)上，并手持卸除器具16的手柄18，以卸除器具16的頂端的支撐元件20作為支撐點(diǎn)，將突出物22插入孔洞14，借著杠桿原理將光罩保護(hù)膜12推離光罩10，接著應(yīng)用卸除器具16于各個(gè)孔洞14重復(fù)進(jìn)行以上所述的步驟，直至完全卸除光罩保護(hù)膜12。
但是，由于一般具有光罩保護(hù)膜12的光罩10的兩旁分別有兩個(gè)孔洞14，所以當(dāng)工作人員利用公知卸除器具16卸除光罩保護(hù)膜12時(shí)，需至少重復(fù)進(jìn)行上述步驟四次，浪費(fèi)不少時(shí)間。而且，在工作人員卸除光罩保護(hù)膜12的過(guò)程中，非常容易因人為的操作不當(dāng)或施力不當(dāng)，于光罩保護(hù)膜12推離光罩10時(shí)導(dǎo)致公知卸除器具16刮傷光罩10表面，造成光罩10上的電路圖案損傷。因此，經(jīng)由此光罩10制造出來(lái)的電路圖具有缺陷，于是只能修補(bǔ)或重新制作昂貴的光罩10，使得制造成本大幅提高。故非常迫切需要一種光罩保護(hù)膜的卸除裝置，可快速卸除光罩保護(hù)膜12，同時(shí)也可避免不小心刮傷光罩10。

發(fā)明內(nèi)容
鑒于上述的發(fā)明背景，隨著半導(dǎo)體技術(shù)和微影成像技術(shù)的進(jìn)步，光罩的線(xiàn)幅尺寸已進(jìn)入0.13微米以下，使得制作光罩的技術(shù)和成本大為提升，于是光罩的保存顯得十分重要。一般應(yīng)用光罩保護(hù)膜來(lái)保護(hù)光罩免受外界的傷害及塵灰。然而，光罩保護(hù)膜的公知卸除器具在操作時(shí)非常容易因人為的操作不當(dāng)或施力不當(dāng)，光罩在卸除過(guò)程時(shí)常被公知卸除器具刮傷，于是制作出具有缺陷的電路圖案。
本發(fā)明的主要目的，在于提供一種光罩保護(hù)膜的卸除裝置，將光罩固定于本發(fā)明的光罩保護(hù)膜的卸除裝置的承載臺(tái)上，將連接于活動(dòng)把手下方的突出物同時(shí)插入光罩保護(hù)膜的孔洞中，然后將把手往下扳動(dòng)，運(yùn)用杠桿原理同時(shí)將光罩保護(hù)膜推離光罩，快速達(dá)到卸除光罩保護(hù)膜的目的。
本發(fā)明的上述目的是這樣實(shí)現(xiàn)的，本發(fā)明提供的一種光罩保護(hù)膜的卸除裝置，至少包括具有至少一滑動(dòng)軸的底座元件；至少一承載與固定元件，置于該底座元件上，且用以承載及固定具有光罩保護(hù)膜的光罩；至少一把手固定元件，借助至少一連接構(gòu)件與至少一滑動(dòng)軸連接；至少一對(duì)把手元件，借助數(shù)個(gè)轉(zhuǎn)動(dòng)元件與至少一把手固定元件連接；數(shù)個(gè)承接元件，借助數(shù)個(gè)連動(dòng)軸分別連接至至少一對(duì)把手元件的一端；以及數(shù)個(gè)插入元件，借助數(shù)個(gè)連動(dòng)軸分別連接至至少一對(duì)把手元件的一端(與承接元件同樣位于至少一對(duì)把手元件的同一端)，借以當(dāng)扳動(dòng)至少一對(duì)把手元件時(shí)，將插入元件插進(jìn)具有光罩保護(hù)膜的孔洞中，并同時(shí)借助杠桿原理將光罩保護(hù)膜同時(shí)推離光罩，然后由承接元件承托已卸離的光罩保護(hù)膜，達(dá)至快速卸除光罩保護(hù)膜的目的。此外，這些插入元件的尺寸吻合具有光罩保護(hù)膜的孔洞的尺寸。
本發(fā)明的一優(yōu)點(diǎn)為提供一種光罩保護(hù)膜的卸除裝置，工作人員利用本發(fā)明的光罩保護(hù)膜的卸除裝置上的把手，將連接在把手一端的突出物同時(shí)插入具有光罩保護(hù)膜的孔洞，然后將把手往下扳動(dòng)，借著杠桿原理將光罩保護(hù)膜完全推離光罩，達(dá)到卸除光罩保護(hù)膜的目的，同時(shí)可避免人為操作上的失誤導(dǎo)致刮傷光罩的危險(xiǎn)。
同時(shí)，本發(fā)明的另一優(yōu)點(diǎn)為在卸除光罩保護(hù)膜的過(guò)程中，是在同一時(shí)間內(nèi)將光罩保護(hù)膜完全推離光罩，而非傳統(tǒng)卸除過(guò)程中利用公知卸除器具對(duì)每一孔洞逐一施行，故本發(fā)明在操作上方便快捷，能節(jié)省卸除光罩保護(hù)膜的時(shí)間。
下面，結(jié)合本發(fā)明的具體實(shí)施例及其附圖，對(duì)本發(fā)明的技術(shù)特征及技術(shù)內(nèi)容作進(jìn)一步詳細(xì)的說(shuō)明，然而，所示附圖僅供參考與說(shuō)明用，并非用來(lái)對(duì)本發(fā)明加以限制。


圖1A和圖1B是繪示公知具有光罩保護(hù)膜的光罩的立體示意圖；圖2是繪示光罩保護(hù)膜的公知卸除器具的示意圖；圖3是繪示當(dāng)具有光罩保護(hù)膜的光罩置于本發(fā)明的一實(shí)施例的光罩保護(hù)膜的卸除裝置時(shí)的立體示意圖；圖4是繪示當(dāng)具有光罩保護(hù)膜的光罩置于本發(fā)明的一實(shí)施例的光罩保護(hù)膜的卸除裝置時(shí)的正視示意圖；圖5是繪示當(dāng)具有光罩保護(hù)膜的光罩置于本發(fā)明的一實(shí)施例的光罩保護(hù)膜的卸除裝置時(shí)的側(cè)視示意圖；圖6是繪示根據(jù)圖3的光罩保護(hù)膜的卸除裝置但不具有把手固定元件、轉(zhuǎn)動(dòng)元件和把手元件的立體示意圖；
圖7是繪示根據(jù)圖3的把手元件于扳動(dòng)前的放大示意圖；圖8是繪示根據(jù)圖3的把手元件于扳動(dòng)后的放大示意圖；圖9是繪示把手元件于扳動(dòng)前的放大示意圖；以及圖10是繪示把手元件于扳動(dòng)后的放大示意圖。
具體實(shí)施例方式
在本發(fā)明的圖1A至圖10中涉及如下圖號(hào)光罩10、光罩保護(hù)膜12、孔洞14、卸除器具16、手柄18、支撐元件20、突出物22、卸除裝置100、底座元件102、把手元件104、承載與固定元件106、光罩保護(hù)膜108、把手固定元件110、轉(zhuǎn)動(dòng)元件112、承接元件114、孔洞116、孔洞118、連接構(gòu)件120、連動(dòng)軸122、滑動(dòng)軸124、鎖緊元件126、旋鈕128、插入元件130。
本發(fā)明所提供的一種光罩保護(hù)膜的卸除裝置，主要是用以快速卸除光罩的保護(hù)膜，同時(shí)避免在卸除過(guò)程中不小心刮傷光罩。
請(qǐng)參考圖3，圖3所繪示為當(dāng)具有光罩保護(hù)膜的光罩置于本發(fā)明的一實(shí)施例的光罩保護(hù)膜的卸除裝置時(shí)的立體示意圖，并請(qǐng)一并參考圖4和圖5，圖4所繪示為當(dāng)具有光罩保護(hù)膜的光罩置于本發(fā)明的一實(shí)施例的光罩保護(hù)膜的卸除裝置時(shí)的正視示意圖，圖5所繪示為當(dāng)具有光罩保護(hù)膜的光罩置于本發(fā)明的一實(shí)施例的光罩保護(hù)膜的卸除裝置時(shí)的側(cè)視示意圖。如圖3、圖4和圖5所示，本發(fā)明的光罩保護(hù)膜的卸除裝置100至少包括底座元件102，借以固定本發(fā)明的卸除裝置100于工作臺(tái)(未繪示)上；承載與固定元件106(示于圖6)，置于底座元件102上，借以承載及固定具有光罩保護(hù)膜108的光罩；把手固定元件110，是經(jīng)由連接構(gòu)件120與底座元件102上的滑動(dòng)軸124相連，使得把手固定元件110可以水平移動(dòng)；把手元件104，其中此把手元件104是通過(guò)轉(zhuǎn)動(dòng)元件112(示于圖7)與把手固定元件110連接，并以把手固定元件110作為支點(diǎn)，使得把手元件104可以扳動(dòng)；承接元件114(示于圖9)，經(jīng)由連動(dòng)軸122(繪示于圖7和圖8)而連接于把手元件104的一端；以及插入元件130(繪示于圖7和圖8)，經(jīng)由連動(dòng)軸122(繪示于圖7和圖8)而連接于把手元件104的一端，使得把手元件104被扳動(dòng)時(shí)插入元件130可經(jīng)由連動(dòng)軸122的帶動(dòng)而插入光罩保護(hù)膜108的孔洞116和孔洞118(示于圖9和圖10)中，同時(shí)將光罩保護(hù)膜108推離光罩，然后由承接元件114承托已卸離的光罩保護(hù)膜108。
其中，在滑動(dòng)軸124的兩端還包括有一個(gè)鎖緊元件126，鎖緊元件126可以在滑動(dòng)軸124上水平移動(dòng)，并可借助旋緊鎖緊元件126上的旋鈕128而使鎖緊元件126固定于滑動(dòng)軸124上，所以利用鎖緊元件126即可限制或固定連接構(gòu)件120于滑動(dòng)軸124上。此外，并請(qǐng)參考圖6，圖6所繪示為根據(jù)圖3的光罩保護(hù)膜的卸除裝置但不具有把手固定元件、轉(zhuǎn)動(dòng)元件和把手元件的立體示意圖。
請(qǐng)參考圖7、圖8、圖9和圖10，圖7所繪示為根據(jù)圖3的把手元件于扳動(dòng)前的示意圖，圖8所繪示為根據(jù)圖3的把手元件于扳動(dòng)后的示意圖，圖9所繪示為把手元件于扳動(dòng)前的放大示意圖，圖10所繪示為把手元件于扳動(dòng)后的放大示意圖。圖7和圖8中僅繪示把手固定元件110、轉(zhuǎn)動(dòng)元件112和把手元件104的連接關(guān)系，而且扳動(dòng)把手元件104前的相關(guān)連接關(guān)系如圖7所示，在扳動(dòng)把手元件104后的相關(guān)連接關(guān)系如圖8所示。
由于把手元件104是通過(guò)轉(zhuǎn)動(dòng)元件112與把手固定元件110連接，因此把手元件104可以被扳動(dòng)，并由于把手元件104的末端通過(guò)連動(dòng)軸122連接突出的插入元件130，在扳動(dòng)把手元件104后，借助轉(zhuǎn)動(dòng)元件112及連動(dòng)軸122的帶動(dòng)，將突出的插入元件130插入光罩保護(hù)膜108的孔洞116和孔洞118中，此時(shí)承接元件114并未伸出(如圖9所示)，避免妨礙插入元件130的動(dòng)作。
在插入元件130插入光罩保護(hù)膜108的孔洞116和孔洞118時(shí)，同時(shí)以把手固定元件110作為支點(diǎn)，利用杠桿原理同時(shí)將光罩保護(hù)膜108往上方推離光罩，此時(shí)承接元件114伸出(如圖10所示)，借以承托已卸離的光罩保護(hù)膜108。當(dāng)承接元件114伸出并承托已卸離的光罩保護(hù)膜108時(shí)，插入元件130則退出光罩保護(hù)膜108的孔洞116和孔洞118。
其中，如圖3、圖4、圖5、圖7和圖8所示，把手元件104可為ㄇ字型把手，而插入元件130的數(shù)量、位置及尺寸大小等是視光罩保護(hù)膜與光罩的設(shè)計(jì)而定，借以達(dá)到互相吻合，其中本發(fā)明的光罩保護(hù)膜的卸除裝置的插入元件130是圓條狀，而承接元件114如圖9和圖10所示可為扁平狀。
另外，本發(fā)明中有關(guān)于制造各構(gòu)件的材料并不限定，在未脫離本發(fā)明所揭示的功用和機(jī)構(gòu)下，本發(fā)明中各構(gòu)件皆可以不同材料制成。同時(shí)，本發(fā)明的光罩保護(hù)膜的卸除裝置中插入元件的形狀是與光罩保護(hù)膜的孔洞互相吻合，借以達(dá)至扳動(dòng)把手元件時(shí)可將插入元件插入光罩保護(hù)膜的孔洞并進(jìn)一步卸除光罩保護(hù)膜的目的。
如熟悉此技術(shù)的人員所了解，以上所述僅為本發(fā)明的較佳實(shí)施例而已，并非用以限定本發(fā)明的實(shí)施范圍；凡其它未脫離本發(fā)明所揭示的精神下所完成的等效改變或修飾，均包含在下述權(quán)利要求范圍內(nèi)。
權(quán)利要求
1.一種光罩保護(hù)膜的卸除裝置，其特征在于，至少包括一底座元件，該底座元件上具有至少一滑動(dòng)軸；至少一承載與固定元件，該至少一承載與固定元件置于該底座元件上，且用以承載及固定具有一光罩保護(hù)膜的一光罩；至少一把手固定元件，該至少一把手固定元件借助至少一連接構(gòu)件與該至少一滑動(dòng)軸連接；至少一對(duì)把手元件，該至少一對(duì)把手元件借助多個(gè)轉(zhuǎn)動(dòng)元件與該至少一把手固定元件連接；多個(gè)承接元件，該承接元件借助多個(gè)連動(dòng)軸分別連接至該至少一對(duì)把手元件的一端；以及多個(gè)插入元件，該插入元件借助該連動(dòng)軸分別連接至該至少一對(duì)把手元件的一端，借以當(dāng)扳動(dòng)該至少一對(duì)把手元件時(shí)，將該插入元件插進(jìn)該光罩保護(hù)膜的多個(gè)孔洞，該至少一對(duì)把手元件以該至少一把手固定元件作為支點(diǎn)，利用杠桿原理將該光罩保護(hù)膜卸離該光罩，然后由該承接元件承托已卸離的該光罩保護(hù)膜。
2.如權(quán)利要求1所述的光罩保護(hù)膜的卸除裝置，其特征在于，所述至少一承載與固定元件是用以承載及固定具有該光罩保護(hù)膜的光罩的四角。
3.如權(quán)利要求1所述的光罩保護(hù)膜的卸除裝置，其特征在于，所述插入元件的尺寸與該光罩保護(hù)膜的孔洞的尺寸吻合。
4.如權(quán)利要求3所述的光罩保護(hù)膜的卸除裝置，其特征在于，所述插入元件的形狀為圓條狀。
5.如權(quán)利要求1所述的光罩保護(hù)膜的卸除裝置，其特征在于，所述承接元件的形狀為扁平狀。
6.如權(quán)利要求1所述的光罩保護(hù)膜的卸除裝置，其特征在于，所述至少一對(duì)把手元件為至少一對(duì)ㄇ字型把手元件。
7.如權(quán)利要求6所述的光罩保護(hù)膜的卸除裝置，其特征在于，所述插入元件連接至該至少一對(duì)ㄇ字型把手元件的每一突出端。
8.如權(quán)利要求6所述的光罩保護(hù)膜的卸除裝置，其特征在于，所述承接元件連接至該至少一對(duì)ㄇ字型把手元件的每一突出端。
9.如權(quán)利要求1所述的光罩保護(hù)膜的卸除裝置，其特征在于，所述至少一滑動(dòng)軸上還包括用以固定該至少一連接構(gòu)件的多個(gè)鎖緊元件。
全文摘要
本發(fā)明公開(kāi)了一種光罩保護(hù)膜的卸除裝置，用以快速卸除光罩的保護(hù)膜。本發(fā)明的光罩保護(hù)膜的卸除裝置是以把手固定元件作為支點(diǎn)，扳動(dòng)ㄇ字型把手時(shí)借助連動(dòng)軸將ㄇ字型把手末端的插入元件插進(jìn)光罩保護(hù)膜的孔洞，并藉杠桿原理將光罩保護(hù)膜卸離光罩，如此可避免工作人員運(yùn)用公知卸除器具時(shí)不小心刮傷光罩的危險(xiǎn)，同時(shí)節(jié)省卸除光罩保護(hù)膜所花的時(shí)間。
文檔編號(hào)G03B27/62GK1517792SQ0313700
公開(kāi)日2004年8月4日 申請(qǐng)日期2003年5月28日 優(yōu)先權(quán)日2003年1月15日
發(fā)明者李光洋, 張啟俊, 何銘濤, 邱銘乾 申請(qǐng)人:臺(tái)灣積體電路制造股份有限公司