技術編號：2673113
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明涉及用于制造形成有抗蝕圖案的加工基板的感光性組合 物。進而本發(fā)明涉及為了制造該基板的制造方法。特別是涉及用于以 光納米壓印法制造形成有抗蝕圖案的加工基板的感光性組合物。背景技術納米壓印法是使用形成有凹凸圖案的模具原器(一般稱為模具(mold)、壓模(stamper)、模板(template))對抗蝕劑進行按壓， 力學性地使其變形，從而將細微圖案精密地轉印的技術。由于只要制 作一次模具，就可以簡單地重復進行納米結構的成型，是既經(jīng)濟、有 害的廢棄/排出物...
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