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含有環(huán)烯烴聚合物及疏水非甾族多脂環(huán)添加劑的光刻膠組合物的制作方法技術資料下載

技術編號:2672916

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與本申請同時提交的是標題為“帶環(huán)烯烴聚合物及疏水非甾族脂環(huán)添加劑的光刻膠組合物”序號為09/266343的美國專利申請;標題為“帶環(huán)烯烴聚合物及添加劑的光刻膠組合物”的序號為09/266342的美國專利申請;以及標準為“帶環(huán)烯烴聚合物及飽和甾族添加劑的光刻膠組合物”的序號為09/266 344的美國專利申請。上述申請的公開內(nèi)容在本文被收作參考資料。在微電子工業(yè)及涉及微型結構(例如微型機器,磁阻頭等)構建的其他工業(yè)中,不斷希望減小結構部件的尺寸。在微電子工業(yè)...
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