技術(shù)編號：2631073
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。無背景技術(shù)微機電系統(tǒng)(MEMS)包含微機械元件、激活器和電子元件?？墒褂贸练e、蝕刻和 /或其它蝕刻掉襯底和/或已沉積材料層的部分或者添加層以形成電裝置和機電裝置的微 加工工藝來產(chǎn)生微機械元件。 一種類型的MEMS裝置稱為干涉式調(diào)制器。如本文所使 用，術(shù)語干涉式調(diào)制器或干涉式光調(diào)制器指的是一種使用光學(xué)干涉原理選擇性地吸收且 /或反射光的裝置。在某些實施例中，干涉式調(diào)制器可包括一對導(dǎo)電板，其中之一或兩者 可能整體或部分透明且/或具有反射性，且能夠在施加適當(dāng)電信...
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