專利名稱：：用于將數(shù)據(jù)寫入到微機(jī)電系統(tǒng)顯示器元件的方法和系統(tǒng)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
：無
背景技術(shù)：
：微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)包含微機(jī)械元件、激活器和電子元件?？墒褂贸练e、蝕刻和/或其它蝕刻掉襯底和/或已沉積材料層的部分或者添加層以形成電裝置和機(jī)電裝置的微加工工藝來產(chǎn)生微機(jī)械元件。一種類型的MEMS裝置稱為干涉式調(diào)制器。如本文所使用，術(shù)語干涉式調(diào)制器或干涉式光調(diào)制器指的是一種使用光學(xué)干涉原理選擇性地吸收且/或反射光的裝置。在某些實(shí)施例中，干涉式調(diào)制器可包括一對(duì)導(dǎo)電板，其中之一或兩者可能整體或部分透明且/或具有反射性，且能夠在施加適當(dāng)電信號(hào)時(shí)進(jìn)行相對(duì)運(yùn)動(dòng)。在特定實(shí)施例中，一個(gè)板可包括沉積在襯底上的固定層，且另一個(gè)板可包括通過氣隙與固定層分離的金屬薄膜。如本文更詳細(xì)描述，一個(gè)板相對(duì)于另一個(gè)板的位置可改變?nèi)肷湓诟缮媸秸{(diào)制器上的光的光學(xué)干涉。這些裝置具有廣范圍的應(yīng)用，且在此項(xiàng)技術(shù)中，利用且/或修改這些類型裝置的特性使得其特征可被發(fā)掘用于改進(jìn)現(xiàn)有產(chǎn)品和創(chuàng)建尚未開發(fā)的新產(chǎn)品，將是有益的。
發(fā)明內(nèi)容本發(fā)明的系統(tǒng)、方法和裝置每一者均具有若干方面，其中任何單個(gè)方面均不僅僅負(fù)責(zé)其期望的屬性。在不限定本發(fā)明范圍的情況下，現(xiàn)將簡(jiǎn)要論述其較突出的特征。考慮此論述之后，且尤其在閱讀題為"具體實(shí)施方式"的部分之后，將了解本發(fā)明的特征如何提供優(yōu)于其它顯示器裝置的優(yōu)點(diǎn)。一個(gè)實(shí)施例具有一種驅(qū)動(dòng)包含一組MEMS顯示器元件的顯示器裝置的方法，所述MEMS顯示器元件配置為MEMS元件的行和列的陣列，其中所述MEMS元件特征在于包含優(yōu)選正和優(yōu)選負(fù)的激活電位差、優(yōu)選正和優(yōu)選負(fù)的保持電位差以及優(yōu)選釋放電位差的一組優(yōu)選的驅(qū)動(dòng)電位差，其中所述組優(yōu)選的驅(qū)動(dòng)電位差關(guān)于與0V相差偏移量3V的電壓對(duì)稱，且其中驅(qū)動(dòng)電位差作為列電壓與行電壓之間的差而施加到每一MEMS元件。所述方法包含產(chǎn)生一組四個(gè)不同電壓電平；通過將電壓施加到陣列的每一列和陣列的每一行以便向陣列施加第一和第二激活電位差、第一和第二保持電位差以及第一和第二釋放電位差來將顯示數(shù)據(jù)寫入到陣列，其中僅從所述組四個(gè)不同電壓電平中選擇電壓，且其中第一和第二保持電位為相反極性。另一實(shí)施例具有一種微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)顯示器裝置，其包含配置為MEMS元件的行和列的陣列的MEMS顯示器元件陣列，其中所述MEMS元件特征在于包含優(yōu)選正和優(yōu)選負(fù)的激活電位差、優(yōu)選正和優(yōu)選負(fù)的保持電位差以及優(yōu)選釋放電位差的一組優(yōu)選的驅(qū)動(dòng)電位差，其中所述組優(yōu)選的驅(qū)動(dòng)電位差關(guān)于與0V相差偏移量5V的電壓對(duì)稱，且陣列控制器經(jīng)配置以通過將電壓施加到陣列的每一列和陣列的每一行以便施加第一和第二激活電位差、第一和第二保持電位差以及第一和第二釋放電位差來將顯示數(shù)據(jù)寫入到陣列，其中從一組僅四個(gè)不同電壓電平中選擇電壓，且其中第一和第二保持電位為相反極性。另一實(shí)施例具有一種驅(qū)動(dòng)包含一組MEMS顯示器元件的顯示器裝置的方法，所述MEMS顯示器元件配置為MEMS元件的行和列的陣列，其中所述MEMS元件特征在于包含優(yōu)選正和優(yōu)選負(fù)的激活電位差、優(yōu)選正和優(yōu)選負(fù)的保持電位差以及優(yōu)選釋放電位差的一組優(yōu)選的驅(qū)動(dòng)電位差，其中所述組優(yōu)選的驅(qū)動(dòng)電位差關(guān)于與0V相差偏移量3V的電壓對(duì)稱，且其中驅(qū)動(dòng)電位差作為列電壓與行電壓之間的差而施加到每一MEMS元件。所述方法包含產(chǎn)生一組四個(gè)不同電壓電平；通過將電壓施加到陣列的每一列和陣列的每一行以便施加第一和第二激活電位差、第一和第二保持電位差以及第一和第二釋放電位差來將顯示數(shù)據(jù)寫入到陣列，其中僅從所述組四個(gè)不同電壓電平中選擇電壓，且其中第一和第二激活電位、第一和第二保持電位以及第一和第二保持電位中的至少一者為相反極性且關(guān)于偏移電壓5V對(duì)稱。圖1是描繪干涉式調(diào)制器顯示器的一個(gè)實(shí)施例的一部分的等角視圖，其中第一干涉式調(diào)制器的可移動(dòng)反射層處于釋放位置，且第二干涉式調(diào)制器的可移動(dòng)反射層處于激活位置。圖2A是圖1的裝置的橫截面圖。圖2B是干涉式調(diào)制器的替代實(shí)施例的橫截面圖。圖2C是干涉式調(diào)制器的另一替代實(shí)施例的橫截面圖。圖2D是干涉式調(diào)制器的又一替代實(shí)施例的橫截面圖。圖2E是干涉式調(diào)制器的額外替代實(shí)施例的橫截面圖。圖3是說明并入有3X3干涉式調(diào)制器顯示器的電子裝置的一個(gè)實(shí)施例的系統(tǒng)框圖。圖4是圖1的干涉式調(diào)制器的一個(gè)示范性實(shí)施例的可移動(dòng)鏡位置與所施加電壓的圖。、圖5是可用于驅(qū)動(dòng)干涉式調(diào)制器顯示器的一組行和列電壓的說明。圖6A和6B說明可用于將顯示數(shù)據(jù)幀寫入到圖3的3X3干涉式調(diào)制器顯示器的行和列信號(hào)的一個(gè)示范性時(shí)序圖。圖7是圖1的干涉式調(diào)制器的一個(gè)示范性實(shí)施例的可移動(dòng)鏡位置與所施加電壓的圖。圖8是可用于驅(qū)動(dòng)干涉式調(diào)制器顯示器的一組行和列電壓的說明。圖9是可用于驅(qū)動(dòng)干涉式調(diào)制器顯示器的一組行和列電壓的說明。圖IO是可用于驅(qū)動(dòng)干涉式調(diào)制器顯示器的一組行和列電壓的說明。圖11A和11B是說明包括多個(gè)干涉式調(diào)制器的視覺顯示器裝置的實(shí)施例的系統(tǒng)框圖。具體實(shí)施例方式以下詳細(xì)描述針對(duì)本發(fā)明的某些特定實(shí)施例。然而，本發(fā)明可以許多不同方式實(shí)施。在本描述內(nèi)容中參看了附圖，附圖中所有相同部分用相同標(biāo)號(hào)表示。如從以下描述中將了解，本發(fā)明可實(shí)施在經(jīng)配置以顯示不論運(yùn)動(dòng)(例如，視頻)還是固定(例如，靜止圖像)的且不論文字還是圖畫的圖像的任何裝置中。更明確地說，預(yù)期本發(fā)明可實(shí)施在多種電子裝置中或與多種電子裝置關(guān)聯(lián)，所述多種電子裝置例如(但不限于)移動(dòng)電話、無線裝置、個(gè)人數(shù)據(jù)助理(PDA)、手提式或便攜式計(jì)算機(jī)、GPS接收器/導(dǎo)航器、相機(jī)、MP3播放器、攝像機(jī)、游戲控制臺(tái)、手表、時(shí)鐘、計(jì)算器、電視監(jiān)視器、平板顯示器、計(jì)算機(jī)監(jiān)視器、汽車顯示器(例如，里程表顯示器等)、座艙控制器和/或顯示器、相機(jī)視圖的顯示器(例如，車輛中后視相機(jī)的顯示器)、電子相片、電子廣告牌或指示牌、投影儀、建筑結(jié)構(gòu)、包裝和美學(xué)結(jié)構(gòu)(例如，對(duì)于一件珠寶的圖像的顯示器)。具有與本文中描述的裝置類似的結(jié)構(gòu)的MEMS裝置也可用于例如電子切換裝置的非顯示器應(yīng)用中。圖1中說明包含干涉式MEMS顯示器元件的一個(gè)干涉式調(diào)制器顯示器的實(shí)施例。在這些裝置中，像素處于明亮狀態(tài)或黑暗狀態(tài)。在明亮("接通"或"開啟")狀態(tài)下，顯示器元件將入射可見光的大部分反射到用戶。當(dāng)在黑暗("斷開"或"關(guān)閉")狀態(tài)下時(shí)，顯示器元件將極少的入射可見光反射到用戶。依據(jù)實(shí)施例而定，可顛倒"接通"和"斷開"狀態(tài)的光反射性質(zhì)。MEMS像素可經(jīng)配置而主要在選定的顏色處反射，從而允許除了黑白顯示以外的彩色顯示。圖1是描述視覺顯示器的一系列像素中的兩個(gè)相鄰像素的等角視圖，其中每一像素包含MEMS千涉式調(diào)制器。在一些實(shí)施例中，干涉式調(diào)制器顯示器包含這些干涉式調(diào)制器的一行/列陣列。每一干涉式調(diào)制器包含一對(duì)反射層，其定位成彼此相距可變且可控制的距離以形成具有至少一個(gè)可變尺寸的諧振光學(xué)腔。在一個(gè)實(shí)施例中，可在兩個(gè)位置之間移動(dòng)所述反射層之一。在第一位置(本文中稱為釋放狀態(tài))中，可移動(dòng)層定位成距固定部分反射層相對(duì)較大的距離。在第二位置中，可移動(dòng)層定位成更緊密鄰近所述部分反射層。視可移動(dòng)反射層的位置而定，從所述兩個(gè)層反射的入射光相長(zhǎng)地或相消地進(jìn)行干涉，從而為每一像素產(chǎn)生全反射狀態(tài)或非反射狀態(tài)。圖1中像素陣列的所描繪部分包含兩個(gè)相鄰干涉式調(diào)制器12a和12b。在左側(cè)干涉式調(diào)制器12a中，說明可移動(dòng)且高度反射層14a處于距固定部分反射層16a預(yù)定距離處的釋放位置中。在右側(cè)干涉式調(diào)制器12b中，說明可移動(dòng)高度反射層14b處于鄰近于固定部分反射層16b的激活位置中。固定層16a、16b是導(dǎo)電的、部分透明且部分反射的，且可通過(例如)將(每一者為鉻和氧化銦錫的)一個(gè)或一個(gè)以上層沉積到透明襯底20上來制造。所述層經(jīng)圖案化成為多個(gè)平行條帶，且如下文中進(jìn)一步描述，可在顯示器裝置中形成行電極?？梢苿?dòng)層14a、14b可形成為沉積金屬層(一層或多層)的一系列平行條帶(與行電極16a、16b垂直)，所述金屬層沉積在柱18和沉積于柱18之間的介入犧牲材料的頂部上。當(dāng)蝕刻掉犧牲材料時(shí)，可變形金屬層通過所界定的氣隙19而與固定金屬層分離。另一實(shí)施例具有例如鋁的高度導(dǎo)電和反射的材料，其可用于可變形層，且這些條帶可在顯示器裝置中形成列電極。在不施加電壓的情況下，腔19保留在層14a、16a之間，且可變形層處于機(jī)械松弛狀態(tài)，如圖1中像素12a所說明。然而，當(dāng)將電位差施加到選定的行和列時(shí)，形成在相應(yīng)像素處的行電極與列電極的交叉處的電容器變得帶電，且靜電力將所述電極拉在一起。如果電壓足夠高，那么可移動(dòng)層變形且被迫抵靠固定層(此圖中未說明的介電材料可沉積在固定層上以防止短路并控制分離距離)，如圖1中右側(cè)的像素12b所說明。不管所施加的電位差的極性如何，表現(xiàn)均相同。以此方式，可控制反射像素狀態(tài)對(duì)非反射像素狀態(tài)的行/列激活在許多方面類似于常規(guī)LCD和其它顯示器技術(shù)中所使用的行/列激活。根據(jù)上文陳述的原理操作的干涉式調(diào)制器的結(jié)構(gòu)的細(xì)節(jié)可廣泛變化。舉例來說，圖2A-2E說明可移動(dòng)反射層14及其支撐結(jié)構(gòu)的五個(gè)不同實(shí)施例。圖2A是圖1的實(shí)施例的橫截面，其中金屬材料條帶14沉積在垂直延伸的支撐件18上。在圖2B中，可移動(dòng)反射層14在系鏈(tether)32上僅在隅角處附接到支撐件。在圖2C中，可移動(dòng)反射層14從可包括柔性金屬的可變形層34懸置下來。所述可變形層34直接或間接地連接到圍繞可變形層34的周邊的襯底20。這些連接在本文中稱為支柱。圖2D中說明的實(shí)施例具有支柱插塞42，可變形層34擱置在所述支柱插塞42上。如圖2A-2C所示，可移動(dòng)反射層14保持懸置在腔上方，但可變形層34并不通過填充可變形層34與光學(xué)堆疊16之間的孔而形成所述支柱。而是支柱由平面化材料形成，所述平面化材料用于形成支柱插塞42。圖2E中說明的實(shí)施例是基于圖2D中展示的實(shí)施例，但也可適于與圖2A-2C中說明的實(shí)施例以及未圖示的額外實(shí)施例的任一者一起發(fā)揮作用。在圖2E中所示的實(shí)施例中，已使用金屬或其它導(dǎo)電材料的額外層來形成總線結(jié)構(gòu)44。這允許信號(hào)沿著干涉式調(diào)制器的背面進(jìn)行路由，從而去除許多原本可能必須形成在襯底20上的電極。在例如圖2中所示的那些實(shí)施例的實(shí)施例中，干涉式調(diào)制器充當(dāng)直接觀看裝置，其中從透明襯底20的前側(cè)觀看圖像，所述側(cè)與上面布置有調(diào)制器的一側(cè)相對(duì)。在這些實(shí)施例中，反射層14以光學(xué)方式遮蔽在反射層的與襯底20相對(duì)側(cè)的干涉式調(diào)制器的部分，其包含可變形層34。這允許對(duì)遮蔽區(qū)域進(jìn)行配置和操作而不會(huì)消極地影響圖像質(zhì)量。這種遮蔽允許實(shí)現(xiàn)圖7E中的總線結(jié)構(gòu)44,所述總線結(jié)構(gòu)44提供使調(diào)制器的光學(xué)性質(zhì)與調(diào)制器的機(jī)電性質(zhì)(例如，尋址與由所述尋址導(dǎo)致的移動(dòng))分離的能力。這種可分離的調(diào)制器結(jié)構(gòu)允許選擇用于調(diào)制器的機(jī)電方面和光學(xué)方面的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)和材料且使其彼此獨(dú)立而發(fā)揮作用。此外，圖2C-2E中所示的實(shí)施例具有源自反射層14的光學(xué)性質(zhì)與其機(jī)械性質(zhì)脫離的額外益處，所述益處由可變形層34實(shí)現(xiàn)。這允許用于反射層14的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)和材料在光學(xué)性質(zhì)方面得以優(yōu)化，且用于可變形層34的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)和材料在期望的機(jī)械性質(zhì)方面得以優(yōu)化。圖3到6說明在顯示器應(yīng)用中使用千涉式調(diào)制器陣列的一個(gè)示范性工藝和系統(tǒng)。圖3是說明可并入有本發(fā)明各方面的電子裝置的一個(gè)實(shí)施例的系統(tǒng)框圖。在所述示范性實(shí)施例中，所述電子裝置包含處理器21，其可為任何通用單芯片或多芯片微處理器(例如ARM、Pentium、PentiumII、PentiumIII、PentiumIV、PentiumPro、8051、MIPS、PowerPC,ALPHA),或任何專用微處理器(例如數(shù)字信號(hào)處理器、微控制器或可編程門陣列)。如此項(xiàng)技術(shù)中常規(guī)的做法，處理器21可經(jīng)配置以執(zhí)行一個(gè)或一個(gè)以上軟件模塊。除了執(zhí)行操作系統(tǒng)外，所述處理器可經(jīng)配置以執(zhí)行一個(gè)或一個(gè)以上軟件應(yīng)用程序，包含網(wǎng)絡(luò)瀏覽器、電話應(yīng)用程序、電子郵件程序或任何其它軟件應(yīng)用程序。在一個(gè)實(shí)施例中，處理器21還經(jīng)配置以與陣列驅(qū)動(dòng)器22連通。在一個(gè)實(shí)施例中，所述陣列驅(qū)動(dòng)器22包含將信號(hào)提供到顯示器陣列或面板30的行驅(qū)動(dòng)器電路24和列驅(qū)動(dòng)器電路26。在圖3中以線1-1展示圖1中說明的陣列的橫截面。對(duì)于MEMS干涉式調(diào)制器來說，行/列激活協(xié)議可利用圖4中說明的這些裝置的滯后性質(zhì)?？赡苄枰?例如)6伏的電位差來致使可移動(dòng)層從釋放狀態(tài)變形為激活狀態(tài)。然而，當(dāng)電壓從所述值減小時(shí)，可移動(dòng)層在電壓降回6伏以下時(shí)維持其狀態(tài)。在圖3的示范性實(shí)施例中，可移動(dòng)層直到電壓降到l伏以下時(shí)才完全釋放。因此，在圖4中說明的實(shí)例中存在約2到4V的電壓范圍，其中存在所施加電壓的窗口，在所述窗口內(nèi)裝置在釋放狀態(tài)或激活狀態(tài)中均是穩(wěn)定的。此窗口在本文中稱為"滯后窗口"或"穩(wěn)定窗口"。將了解，圖4的"驅(qū)動(dòng)電位"界定為固定電極的電位與可變形電極的電位之間的差。因此，"0伏"驅(qū)動(dòng)電位意味著給定行和列相對(duì)于例如接地的共用參考具有相同的絕對(duì)電壓。"O伏"驅(qū)動(dòng)電位并不意味著行或列相對(duì)于接地或任何其它參考必需處于O伏的絕對(duì)電壓。在本發(fā)明中依據(jù)慣例，正極性驅(qū)動(dòng)電位意味著列電極比行電極處于更高電位。負(fù)極性驅(qū)動(dòng)電位意味著行電極比列電極處于更高電位。對(duì)于具有圖4的滯后特性的顯示器陣列來說，可設(shè)計(jì)行/列激活協(xié)議使得在行選通期間，已選通行中待激活的像素暴露于約6伏的電壓差，且待釋放的像素暴露于接近零伏的電壓差。在選通之后，所述像素暴露于約3伏的穩(wěn)態(tài)電壓差使得其維持在行選通使其所處的任何狀態(tài)中。在此實(shí)例中，每一像素在被寫入之后經(jīng)歷2-4伏的"穩(wěn)定窗口"內(nèi)的電位差。此特征使圖1中說明的像素設(shè)計(jì)在相同的施加電壓條件下在激活或釋放預(yù)存在狀態(tài)下均是穩(wěn)定的。因?yàn)楦缮媸秸{(diào)制器的每一像素(不論處于激活還是釋放狀態(tài))本質(zhì)上是由固定反射層和移動(dòng)反射層形成的電容器，所以可在滯后窗口內(nèi)的一電壓下維持此穩(wěn)定狀態(tài)而幾乎無功率消耗。本質(zhì)上，如果所施加的電壓是固定的，那么沒有電流流入像素中。在典型應(yīng)用中，可通過根據(jù)第一行中所需組的激活像素確認(rèn)所述組列電極來產(chǎn)生顯示幀。另一實(shí)施例具有行脈沖，接著將行脈沖施加到行1電極，從而激活對(duì)應(yīng)于所確認(rèn)的列線的像素。接著改變所述組己確認(rèn)列電極以對(duì)應(yīng)于第二行中所需組的激活像素。另一實(shí)施例具有接著施加到行2電極的脈沖，從而根據(jù)已確認(rèn)的列電極而激活行2中的適當(dāng)像素。行l(wèi)像素不受行2脈沖影響，且維持在其在行l(wèi)脈沖期間被設(shè)定的狀態(tài)中?？梢赃B續(xù)方式對(duì)整個(gè)系列的行重復(fù)此過程以產(chǎn)生幀。通常，通過以每秒某一所需數(shù)目的幀的速度連續(xù)地重復(fù)此過程來用新的顯示數(shù)據(jù)刷新且/或更新所述幀。另一實(shí)施例具有用于驅(qū)動(dòng)像素陣列的行和列電極以產(chǎn)生顯示幀的廣泛種類的協(xié)議，其也是眾所周知的且可結(jié)合本發(fā)明使用。'圖5和6說明用于在圖3的3X3陣列上形成顯示幀的一個(gè)可能的激活協(xié)議。圖4是展示滯后特性的可移動(dòng)鏡位置與所施加電壓的圖。圖5是展示用于產(chǎn)生圖3的實(shí)施例的優(yōu)選驅(qū)動(dòng)電位的列和行電壓的表，其中每一驅(qū)動(dòng)電位是相關(guān)聯(lián)列電壓與相關(guān)聯(lián)行電壓之間的差。如圖所示，列電壓為6V和0V，且行電壓為3V、6V禾卩OV，且用于產(chǎn)生優(yōu)選正和優(yōu)選負(fù)的激活電位(+6V和-6V)、優(yōu)選正和優(yōu)選負(fù)的保持電位(+3V和-3V)以及優(yōu)選釋放電位(0V)。為了便于解釋，所施加的行和列電壓的數(shù)值給定為0、+3和+6,但將了解，這些所施加電壓的數(shù)值可一起變化且產(chǎn)生完全相同的保持、釋放和激活驅(qū)動(dòng)電位。僅差是相關(guān)的，而不是絕對(duì)值。在圖5實(shí)施例中，激活像素涉及將適當(dāng)列設(shè)定為0，且將適當(dāng)行設(shè)定為+6V。釋放像素是通過將適當(dāng)列設(shè)定為+6V，且將適當(dāng)行設(shè)定為相同的+6V，從而在像素上產(chǎn)生零伏電位差而實(shí)現(xiàn)的。在行電壓維持在3伏的那些行中，不管列處于+6V還是0，像素在任何其最初所處的狀態(tài)中均是穩(wěn)定的。同樣如圖5中所說明，將了解，可使用具有與上述電壓的極性相反的極性的電壓，例如，激活像素可涉及將適當(dāng)列設(shè)定為+6V，且將適當(dāng)行設(shè)定為0。在此實(shí)施例中，釋放像素是通過將適當(dāng)列設(shè)定為0，且將適當(dāng)行設(shè)定為相同的O,從而在像素上產(chǎn)生零伏電位差而實(shí)現(xiàn)的。圖6B是展示施加到圖3的3X3陣列的一系列行和列信號(hào)的時(shí)序圖，所述系列的行和列信號(hào)將產(chǎn)生圖6A中說明的顯示器布置，其中被激活像素為非反射的。在對(duì)圖6A中說明的幀進(jìn)行寫入之前，像素可處于任何狀態(tài)，且在本實(shí)例中所有行均處于3伏，且所有列均處于6伏。在這些所施加的電壓的情況下，所有像素在其既有的激活或釋放狀態(tài)中均是穩(wěn)定的。在圖6A的幀中，像素(l，l)、(1,2)、(2，2)、(3，2)和(3,3)被激活。為了實(shí)現(xiàn)此目的，在行1的"線時(shí)間(linetime)"期間，將列1和2設(shè)定為0伏，且將列3設(shè)定為+6伏。因?yàn)樗邢袼鼐Ａ粼?-4伏的穩(wěn)定窗口中，所以這并不改變?nèi)魏蜗袼氐臓顟B(tài)。接著用從3V升到6V且返回3V的脈沖選通行1。這激活了(l，l)和(1,2)像素且釋放了(1,3)像素。陣列中其它像素均不受影響。為了視需要設(shè)定行2，將列2設(shè)定為0伏，且將列1和3設(shè)定為+6伏。施加到行2的相同選通接著將激活像素(2,2)且釋放像素(2,1)和(2,3)。同樣，陣列中其它像素均不受影響。通過將列2和3設(shè)定為0伏且將列l(wèi)設(shè)定為+6伏來類似地設(shè)定行3。行3選通設(shè)定行3像素，如圖60A中所示。在對(duì)幀進(jìn)行寫入之后，行電位為3V，且列電位可維持在+6或0伏，且接著顯示器在圖6A的布置中是穩(wěn)定的。將了解，可將相同程序用于數(shù)十或數(shù)百個(gè)行和列的陣列。還將應(yīng)了解，用于執(zhí)行行和列激活的電壓的時(shí)序、序列和電平可在上文所概述的一般原理內(nèi)廣泛變化，且上文的實(shí)例僅為示范性的，且任何激活電壓方法均可與本發(fā)明一起使用。上述裝置的一個(gè)方面是，電荷可積聚在裝置層之間的電介質(zhì)上。這可能是制造工藝的結(jié)果，且可在裝置被主要指向相同方向的電場(chǎng)激活并保持在激活狀態(tài)時(shí)引起。舉例來說，如果當(dāng)裝置被具有比穩(wěn)定性的外部閾值大的量值的電位激活時(shí)移動(dòng)層總是相對(duì)于固定層處于較高電位，那么層之間的電介質(zhì)上的緩慢增加的電荷累積可開始使裝置的滯后曲線移位。圖7是展示與圖4中所示的類似的滯后特性的可移動(dòng)鏡位置與所施加電壓的圖。然而，圖7所示的滯后特性不以約0V為中心，而是移位一偏移量5V，其中3V是滯后曲線中心處的電位差。此偏移量可以是設(shè)計(jì)、制造、環(huán)境和/或操作歷史的結(jié)果。(5V的數(shù)值可為正或負(fù)的。如果JV并非過大，那么具有圖7所示的特性的MEMS裝置可仍以圖5所示的列和行電壓驅(qū)動(dòng)。然而，以不處于滯后曲線內(nèi)相同位置處的正和負(fù)的驅(qū)動(dòng)電位差驅(qū)動(dòng)裝置可導(dǎo)致某些不合需要的性能特性。舉例來說，除了上文提及的電荷累積外，當(dāng)以正激活電位激活可移動(dòng)鏡時(shí)的光調(diào)制特性可與當(dāng)以負(fù)激活電位激活可移動(dòng)鏡時(shí)的光調(diào)制特性不同。發(fā)生這種情況可能是因?yàn)榭梢苿?dòng)鏡上的有效靜電力將取決于驅(qū)動(dòng)電位差與^V(滯后曲線中心處的電位差)之間的差的絕對(duì)值。圖8是展示用于形成圖7的實(shí)施例的一組優(yōu)選驅(qū)動(dòng)電位的列和行電壓的表，其中每一驅(qū)動(dòng)電位是相關(guān)聯(lián)列電壓與相關(guān)聯(lián)行電壓之間的差。如圖所示，列電壓為6V+3V和0V+3V，且行電壓為3V、6V和0V，且用于產(chǎn)生優(yōu)選正和優(yōu)選負(fù)的激活電位(+6V+3V和-6V+3V)、優(yōu)選正和優(yōu)選負(fù)的保持電位(+3V+3V禾t]-3V+5V)以及優(yōu)選釋放電位(0V+5V)。這些值是有利的，因?yàn)檎拓?fù)的激活電位、正和負(fù)的釋放電位以及正和負(fù)的保持電位中的每一者均關(guān)于^V對(duì)稱。這導(dǎo)致至少每一干涉式調(diào)制器內(nèi)電荷聚積平衡以及正和負(fù)極性信號(hào)處大體相同的光調(diào)制特性的益處。圖5與圖8的列和行電壓的比較展示，行和列信號(hào)所需的不同電源電壓的數(shù)目當(dāng)存在偏移量時(shí)增加。在無偏移量的情況下，列和行電壓每一者是三個(gè)電源電壓0V、3V和6V中的一者。然而，在存在偏移量3V的情況下，列和行電壓每一者是五個(gè)電源電壓0V、0V+5V、3V、6V和6V+5V中的一者。添加電源電壓增加了電源產(chǎn)生和分布的復(fù)雜性，且可增加功率消耗?，F(xiàn)提出減小電源電壓的數(shù)目同時(shí)避免不合需要的性能特性的替代組的驅(qū)動(dòng)電位。圖9是展示用于形成圖7所示的具有偏移量5V且具有滯后曲線的干涉式調(diào)制器的一組替代驅(qū)動(dòng)電位的列和行電壓的表，其中每一驅(qū)動(dòng)電位是相關(guān)聯(lián)列電壓與相關(guān)聯(lián)行電壓之間的差。如圖所示，列電壓為6V+23V和0V，且行電壓為3V、6V禾卩0V，且用于產(chǎn)生替代正和替代負(fù)的激活電位(+6V+23V和-6V)、替代正和替代負(fù)的保持電位(+3V+2JV和-3V)以及替代正和替代負(fù)的釋放電位(0V禾卩0V+2(5V)。此方案有利地僅使用四個(gè)電源電壓0V、3V、6V和6V+23V。另外，盡管替代驅(qū)動(dòng)電位不同于優(yōu)選驅(qū)動(dòng)電位，但避免了由于不對(duì)稱驅(qū)動(dòng)電位引起的不合需要的性能特性，因?yàn)槊恳粚?duì)正和負(fù)的驅(qū)動(dòng)電壓關(guān)于優(yōu)選驅(qū)動(dòng)電壓對(duì)稱，且因此關(guān)于偏移電壓3V對(duì)稱。也就是說，替代正和替代負(fù)的激活電位+6V+23V和-6V關(guān)于優(yōu)選正和優(yōu)選負(fù)的激活電位+6V+5V和-6V+5V對(duì)稱，替代正和替代負(fù)的保持電位+3V+25V和-3V關(guān)于優(yōu)選正和優(yōu)選負(fù)的保持電位+3V+3V和-3V+5V對(duì)稱，且替代正和替代負(fù)的釋放電位0V禾tl0V+23V關(guān)于優(yōu)選釋放電位OV+JV對(duì)稱。因此，圖9的列和行電壓可用于使用四個(gè)電源電壓形成圖7所示的具有偏移量3V且具有滯后曲線的干涉式調(diào)制器的一組替代驅(qū)動(dòng)電位，且具有與對(duì)稱驅(qū)動(dòng)電位相關(guān)聯(lián)的有利性能特性，例如電荷累積減少和不管信號(hào)極性如何而大體相同的光調(diào)制特性。圖10是展示用于形成圖7所示的具有偏移量3V且具有滯后曲線的干涉式調(diào)制器的另一組替代驅(qū)動(dòng)電位的列和行電壓的表，其中每一驅(qū)動(dòng)電位是相關(guān)聯(lián)列電壓與相關(guān)聯(lián)行電壓之間的差。如圖所示，列電壓為6V和0V，且行電壓為3V-3V、6V禾口0V-2JV,且用于產(chǎn)生替代正和替代負(fù)的激活電位(+6V+25V和-6V)、替代正和替代負(fù)的保持電位(+3V+5V禾Q-3V+3V)以及替代正和替代負(fù)的釋放電位(0V+5V和0V)。此方案有利地僅使用四個(gè)電源電壓0V-5V、0V、3V-5V和6V。類似于圖9所示的替代驅(qū)動(dòng)電位，盡管圖10的替代驅(qū)動(dòng)電位不同于優(yōu)選驅(qū)動(dòng)電位，但避免了由于不對(duì)稱驅(qū)動(dòng)電位引起的不合需要的性能特性，因?yàn)槊恳粚?duì)正和負(fù)的驅(qū)動(dòng)電壓關(guān)于優(yōu)選驅(qū)動(dòng)電壓對(duì)稱，且因此關(guān)于偏移電壓5V對(duì)稱。也就是說，替代正和替代負(fù)的激活電位+6V+23V和-6V關(guān)于優(yōu)選正和優(yōu)選負(fù)的激活電位+6V+5V和-6V+JV對(duì)稱，替代正和替代負(fù)的保持電位+3V+5V和-3V+5V關(guān)于(且實(shí)際上等同于)優(yōu)選正和優(yōu)選負(fù)的保持電位+3V+3V和-3V+3V對(duì)稱，且替代正和替代負(fù)的釋放電位0V和OV+JV關(guān)于優(yōu)選釋放電位0V+5V對(duì)稱。圖10的所述組替代驅(qū)動(dòng)電位具有一有利方面，即正和負(fù)的保持電位等同于優(yōu)選正和負(fù)的保持電位。因此，圖IO的列和行電壓可用于使用四個(gè)電源電壓形成圖7所示的具有偏移量3V且具有滯后曲線的干涉式調(diào)制器的一組替代驅(qū)動(dòng)電位，且具有與對(duì)稱驅(qū)動(dòng)電位相關(guān)聯(lián)的有利性能特性，例如電荷累積減少和不管信號(hào)極性如何而大體相同的光調(diào)制特性。將了解，在以上論述中，術(shù)語行和列經(jīng)任意選擇以各自表示陣列中的單獨(dú)維度。行和列并不意味著相對(duì)于任何固定參考。因此，行和列可互換。圖11A和11B是說明其中可實(shí)施本文描述的發(fā)明的顯示器裝置40的實(shí)施例的系統(tǒng)框圖。顯示器裝置40可為(例如)蜂窩式電話或移動(dòng)電話。然而，顯示器裝置40的相同組件或其稍微變化形式也說明例如電視和便攜式媒體播放器的各種類型的顯示器裝置。顯示器裝置40包含外殼41、顯示器30、天線43、揚(yáng)聲器44、輸入裝置48和麥克風(fēng)46。外殼41通常由所屬領(lǐng)域的技術(shù)人員眾所周知的多種制造工藝的任一者形成，所述工藝包含注射模制和真空成形。另外，外殼41可由多種材料的任一者制成，所述材料包含(但不限于)塑料、金屬、玻璃、橡膠和陶瓷，或其組合。在一個(gè)實(shí)施例中，外殼41包含可去除部分(未圖示)，所述可去除部分可與其它具有不同顏色或含有不同標(biāo)記、圖畫或符號(hào)的可去除部分互換。如本文中所描述，示范性顯示器裝置40的顯示器30可為包含雙穩(wěn)態(tài)顯示器(bi-stabledisplay)在內(nèi)的多種顯示器的任一者。在其它實(shí)施例中，如所屬領(lǐng)域的技術(shù)人員眾所周知，顯示器30包含例如如上所述的等離子、EL、OLED、STNLCD或TFTLCD的平板顯示器，或例如CRT或其它電子管裝置的非平板顯示器。然而，出于描述本實(shí)施例的目的，如本文中所描述，顯示器30包含干涉式調(diào)制器顯示器。圖11B中示意說明示范性顯示器裝置40的一個(gè)實(shí)施例的組件。所說明的示范性顯示器裝置40包含外殼41且可包含至少部分封圍在所述外殼41中的額外組件。舉例來說，在一個(gè)實(shí)施例中，示范性顯示器裝置40包含網(wǎng)絡(luò)接口27，所述網(wǎng)絡(luò)接口27包含耦合到收發(fā)器47的天線43。收發(fā)器47連接到處理器21，處理器21連接到調(diào)節(jié)硬件52。調(diào)節(jié)硬件52可經(jīng)配置以調(diào)節(jié)信號(hào)(例如，對(duì)信號(hào)進(jìn)行濾波)。調(diào)節(jié)硬件52連接到揚(yáng)聲器45和麥克風(fēng)46。處理器21也連接到輸入裝置48和驅(qū)動(dòng)器控制器29。驅(qū)動(dòng)器控制器29耦合到幀緩沖器28且耦合到陣列驅(qū)動(dòng)器22，所述陣列驅(qū)動(dòng)器22進(jìn)而耦合到顯示器陣列30。根據(jù)特定示范性顯示器裝置40設(shè)計(jì)的要求，電源50將功率提供到所有組件。網(wǎng)絡(luò)接口27包含天線43和收發(fā)器47使得示范性顯示器裝置40可經(jīng)由網(wǎng)絡(luò)與一個(gè)或一個(gè)以上裝置通信。在一個(gè)實(shí)施例中，網(wǎng)絡(luò)接口27也可具有某些處理能力以減輕對(duì)處理器21的要求。天線43是所屬領(lǐng)域的技術(shù)人員已知的用于傳輸和接收信號(hào)的任何天線。在一個(gè)實(shí)施例中，所述天線根據(jù)IEEE802.11標(biāo)準(zhǔn)(包含IEEE802.11(a)、(b)或(g))來傳輸和接收RF信號(hào)。在另一實(shí)施例中，所述天線根據(jù)BLUETOOTH標(biāo)準(zhǔn)來傳輸和接收RF信號(hào)。在蜂窩式電話的情況下，所述天線經(jīng)設(shè)計(jì)以接收CDMA、GSM、AMPS或其它用于在無線手機(jī)網(wǎng)絡(luò)內(nèi)通信的已知信號(hào)。收發(fā)器47預(yù)處理從天線43接收到的信號(hào)，使得處理器21可接收所述信號(hào)并進(jìn)一步對(duì)所述信號(hào)進(jìn)行處理。收發(fā)器47還處理從處理器21接收到的信號(hào)使得可經(jīng)由天線43從示范性顯示器裝置40傳輸所述信號(hào)。在一替代實(shí)施例中，收發(fā)器47可由接收器代替。在又一替代實(shí)施例中，網(wǎng)絡(luò)接口27可由可存儲(chǔ)或產(chǎn)生待發(fā)送到處理器21的圖像數(shù)據(jù)的圖像源代替。舉例來說，所述圖像源可為含有圖像數(shù)據(jù)的數(shù)字視頻光盤(DVD)或硬盤驅(qū)動(dòng)器，或可為產(chǎn)生圖像數(shù)據(jù)的軟件模塊。處理器21大體上控制示范性顯示器裝置40的全部操作。處理器21接收例如來自網(wǎng)絡(luò)接口27或圖像源的壓縮圖像數(shù)據(jù)的數(shù)據(jù)，并將所述數(shù)據(jù)處理成原始圖像數(shù)據(jù)或處理成易被處理成原始圖像數(shù)據(jù)的格式。處理器21接著將已處理的數(shù)據(jù)發(fā)送到驅(qū)動(dòng)器控制器29或發(fā)送到幀緩沖器28以供存儲(chǔ)。原始數(shù)據(jù)通常是指識(shí)別圖像內(nèi)每一位置處的圖像特性的信息。舉例來說，這些圖像特性可包含顏色、飽和度和灰度級(jí)。在一個(gè)實(shí)施例中，處理器21包含微控制器、CPU或邏輯單元以控制示范性顯示器裝置40的操作。調(diào)節(jié)硬件52通常包含放大器和濾波器，以用于將信號(hào)傳輸?shù)綋P(yáng)聲器45，且用于從麥克風(fēng)46接收信號(hào)。調(diào)節(jié)硬件52可為示范性顯示器裝置40內(nèi)的離散組件，或可并入在處理器21或其它組件內(nèi)。驅(qū)動(dòng)器控制器29直接從處理器21或從幀緩沖器28取得由處理器21產(chǎn)生的原始圖像數(shù)據(jù)，并適當(dāng)?shù)刂匦赂袷交鲈紙D像數(shù)據(jù)以供高速傳輸?shù)疥嚵序?qū)動(dòng)器22。具體來說，驅(qū)動(dòng)器控制器29將原始圖像數(shù)據(jù)重新格式化為具有類光柵的格式的數(shù)據(jù)流，使得其具有適于在顯示器陣列30上進(jìn)行掃描的時(shí)間次序。接著，驅(qū)動(dòng)器控制器29將已格式化的信息發(fā)送到陣列驅(qū)動(dòng)器22。盡管驅(qū)動(dòng)器控制器29(例如LCD控制器)通常與系統(tǒng)處理器21相關(guān)聯(lián)而作為獨(dú)立的集成電路(IC)，但可以許多方式實(shí)施這些控制器。其可作為硬件嵌入處理器21中，作為軟件嵌入處理器21中，或與陣列驅(qū)動(dòng)器22—起完全集成在硬件中。通常，陣列驅(qū)動(dòng)器22從驅(qū)動(dòng)器控制器29接收已格式化的信息且將視頻數(shù)據(jù)重新格式化為一組平行波形，所述波形以每秒多次的速度被施加到來自顯示器的x-y像素矩陣的數(shù)百且有時(shí)數(shù)千個(gè)引線。在一個(gè)實(shí)施例中，驅(qū)動(dòng)器控制器29、陣列驅(qū)動(dòng)器22和顯示器陣列30適用于本文描述的任意類型的顯示器。舉例來說，在一個(gè)實(shí)施例中，驅(qū)動(dòng)器控制器29是常規(guī)顯示器控制器或雙穩(wěn)態(tài)顯示器控制器(例如，干涉式調(diào)制器控制器)。在另一實(shí)施例中，陣列驅(qū)動(dòng)器22是常規(guī)驅(qū)動(dòng)器或雙穩(wěn)態(tài)顯示器驅(qū)動(dòng)器(例如，干涉式調(diào)制器顯示器)。在一個(gè)實(shí)施例中，驅(qū)動(dòng)器控制器29與陣列驅(qū)動(dòng)器22集成。此實(shí)施例在例如蜂窩式電話、手表和其它小面積顯示器的高度集成系統(tǒng)中是普遍的。在又一實(shí)施例中，顯示器陣列30是典型的顯示器陣列或雙穩(wěn)態(tài)顯示器陣列(例如，包含干涉式調(diào)制器陣列的顯示器)。輸入裝置48允許用戶控制示范性顯示器裝置40的操作。在一個(gè)實(shí)施例中，輸入裝置48包含例如QWERTY鍵盤或電話鍵區(qū)的鍵區(qū)、按鈕、開關(guān)、觸敏屏幕、或者壓敏或熱敏薄膜。在一個(gè)實(shí)施例中，麥克風(fēng)46是用于示范性顯示器裝置40的輸入裝置。當(dāng)使用麥克風(fēng)46將數(shù)據(jù)輸入到所述裝置時(shí)，用戶可提供聲音命令以便控制示范性顯示器裝置40的操作。電源50可包含此項(xiàng)技術(shù)中眾所周知的多種能量存儲(chǔ)裝置。舉例來說，在一個(gè)實(shí)施例中，電源50是例如鎳鎘電池或鋰離子電池的可再充電電池。在另一實(shí)施例中，電源50是可再生能源、電容器或太陽能電池，包含塑料太陽能電池和太陽能電池涂料。在另一實(shí)施例中，龜源50經(jīng)配置以從壁式插座接收功率。在某些實(shí)施例中，如上文中所描述，控制可編程性駐存在驅(qū)動(dòng)器控制器中，所述驅(qū)動(dòng)器控制器可位于電子顯示器系統(tǒng)中的若干位置中。在某些實(shí)施例中，控制可編程性駐存在陣列驅(qū)動(dòng)器22中。所屬領(lǐng)域的技術(shù)人員將了解，上述優(yōu)化可實(shí)施在任何數(shù)目的硬件和/或軟件組件中且可以各種配置實(shí)施。所屬領(lǐng)域的技術(shù)人員還將了解，可在不脫離本發(fā)明的精神的情況下作出許多各種修改。因此，應(yīng)清楚地了解，本發(fā)明的形式僅是說明性的，且不希望限制本發(fā)明的范圍。權(quán)利要求1.一種包括一組MEMS顯示器元件的顯示器裝置，所述MEMS顯示器元件配置為MEMS元件的行和列的陣列，其中所述MEMS元件特征在于包括優(yōu)選正和優(yōu)選負(fù)的激活電位差、優(yōu)選正和優(yōu)選負(fù)的保持電位差以及優(yōu)選釋放電位差的一組優(yōu)選的驅(qū)動(dòng)電位差，其中所述組優(yōu)選的驅(qū)動(dòng)電位差關(guān)于與0V相差偏移量δV的電壓對(duì)稱，且其中驅(qū)動(dòng)電位差作為列電壓與行電壓之間的差而施加到每一MEMS元件，所述方法包括產(chǎn)生一組四個(gè)不同電壓電平；通過將電壓施加到所述陣列的每一列和所述陣列的每一行以便施加第一和第二激活電位差、第一和第二保持電位差以及第一和第二釋放電位差來將顯示數(shù)據(jù)寫入到所述陣列，其中僅從所述組四個(gè)不同電壓電平中選擇所述電壓，且其中第一和第二保持電位為相反極性。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其中所述第一保持電位為正極性使得所述列處于比所述行高的電位，且其中所述第二保持電位為負(fù)極性使得所述行處于比所述列高的電位。3.根據(jù)權(quán)利要求l所述的方法，其中^V為正值。4.根據(jù)權(quán)利要求l所述的方法，其中^V為負(fù)值。5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其中從一組兩個(gè)電壓中選擇施加到所述列的電壓，其中從一組三個(gè)電壓中選擇施加到所述行的電壓，且其中所述組三個(gè)電壓和所述組兩個(gè)電壓共享一個(gè)共用電壓。6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的方法，其中所述組三個(gè)電壓中的一者從所述組兩個(gè)電壓中的一者移位約2JV。'7.根據(jù)權(quán)利要求5所述的方法，其中所述共用電壓為約OV。8.根據(jù)權(quán)利要求5所述的方法，其中所述共用電壓為約5V或更大。9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其中所述第一和第二激活電位差關(guān)于所述偏移電壓(5V對(duì)稱。10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其中所述第一和第二釋放電位差關(guān)于所述偏移電壓對(duì)稱。11.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其中所述第一和第二保持電位差關(guān)于所述偏移電壓(5V對(duì)稱。12.—種微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)顯示器裝置，其包括MEMS元件的行和列的陣列，其中所述MEMS元件特征在于包括優(yōu)選正和優(yōu)選負(fù)的激活電位差、優(yōu)選正和優(yōu)選負(fù)的保持電位差以及優(yōu)選釋放電位差的一組優(yōu)選的驅(qū)動(dòng)電位差，其中所述組優(yōu)選的驅(qū)動(dòng)電位差關(guān)于與0V相差偏移量5V的電壓對(duì)稱；以及陣列驅(qū)動(dòng)器，其經(jīng)配置以通過將電壓施加到所述陣列的每一列和所述陣列的每一行以便施加第一和第二激活電位差、第一和第二保持電位差以及第一和第二釋放電位差來將顯示數(shù)據(jù)寫入到所述陣列，其中從一組僅四個(gè)不同電壓電平中選擇所述電壓，且其中第一和第二保持電位為相反極性。13.根據(jù)權(quán)利要求12所述的方法，其中3V為正值。根據(jù)權(quán)利要求12所述的方法，其中3V為負(fù)值。14.根據(jù)權(quán)利要求12所述的方法，其中所述第一保持電位為正極性使得所述列處于比所述行高的電位，且其中所述第二保持電位為負(fù)極性使得所述行處于比所述列高的電位。15.根據(jù)權(quán)利要求12所述的裝置，其中所述陣列控制器經(jīng)配置以將從一組兩個(gè)電壓中選擇的電壓施加到所述列，且將從一組三個(gè)電壓中選擇的電壓施加到所述行，且其中所述組三個(gè)電壓和所述組兩個(gè)電壓共享一個(gè)共用電壓。16.根據(jù)權(quán)利要求16所述的裝置，其中所述組三個(gè)電壓中的一者從所述組兩個(gè)電壓中17.18.19.20.21.22.23.的一者移位約25V。根據(jù)權(quán)利要求16所述的裝置，根據(jù)權(quán)利要求16所述的裝置，根據(jù)權(quán)利要求12所述的裝置,對(duì)稱。根據(jù)權(quán)利要求12所述的裝置,5V對(duì)稱。根據(jù)權(quán)利要求12所述的裝置,對(duì)稱。根據(jù)權(quán)利要求12所述的設(shè)備，其中所述共用電壓為約OV。其中所述共用電壓為約5V或更大。其中所述第一和第二激活電位差關(guān)于所述偏移電壓其中所述第一和第二釋放電位差關(guān)于所述偏移電壓其中所述第一和第二保持電位差關(guān)于所述偏移電壓其進(jìn)一步包括處理器，其經(jīng)配置以與所述顯示器通信，所述處理器經(jīng)配置以處理圖像數(shù)據(jù)；以及存儲(chǔ)器裝置，其經(jīng)配置以與所述處理器通信。24.根據(jù)權(quán)利要求23所述的設(shè)備，其進(jìn)一步包括控制器，所述控制器經(jīng)配置以將所述圖像數(shù)據(jù)的至少一部分發(fā)送到所述驅(qū)動(dòng)器電路。25.根據(jù)權(quán)利要求23所述的設(shè)備，其進(jìn)一步包括圖像源模塊，所述圖像源模塊經(jīng)配置以將所述圖像數(shù)據(jù)發(fā)送到所述處理器。26.根據(jù)權(quán)利要求25所述的設(shè)備，其中所述圖像源模塊包括接收器、收發(fā)器和傳輸器中的至少一者。27.根據(jù)權(quán)利要求23所述的設(shè)備，其進(jìn)一步包括輸入裝置，所述輸入裝置經(jīng)配置以接收輸入數(shù)據(jù)并將所述輸入數(shù)據(jù)傳送到所述處理器。28.—種驅(qū)動(dòng)包含一組MEMS顯示器元件的顯示器裝置的方法，所述MEMS顯示器元件配置為MEMS元件的行和列的陣列，其中所述MEMS元件特征在于包括優(yōu)選正和優(yōu)選負(fù)的激活電位差、優(yōu)選正和優(yōu)選負(fù)的保持電位差以及優(yōu)選釋放電位差的一組優(yōu)選的驅(qū)動(dòng)電位差，其中所述組優(yōu)選的驅(qū)動(dòng)電位差關(guān)于與0V相差偏移量3V的電壓對(duì)稱，且其中驅(qū)動(dòng)電位差作為列電壓與行電壓之間的差而施加到每一MEMS元件，所述方法包括產(chǎn)生一組四個(gè)不同電壓電平；通過將電壓施加到所述陣列的每一列和所述陣列的每一行以便施加第一和第二激活電位差、第一和第二保持電位差以及第一和第二釋放電位差來將顯示數(shù)據(jù)寫入到所述陣列，其中僅從所述組四個(gè)不同電壓電平中選擇所述電壓，且其中第一和第二激活電位、第一和第二保持電位以及第一和第二釋放電位中的至少一者為相反極性且關(guān)于所述偏移電壓5V對(duì)稱。29.根據(jù)權(quán)利要求28所述的方法，其中所述第一保持電位為正極性使得所述列處于比所述行高的電位，且其中所述第二保持電位為負(fù)極性使得所述行處于比所述列高的電位。30.根據(jù)權(quán)利要求28所述的方法，其中5V為正值。31.根據(jù)權(quán)利要求28所述的方法，其中3V為負(fù)值。32.根據(jù)權(quán)利要求28所述的方法，其中從一組兩個(gè)電壓中選擇施加到所述列的電壓，其中從一組三個(gè)電壓中選擇施加到所述行的電壓，且其中所述組三個(gè)電壓和所述組兩個(gè)電壓共享一個(gè)共用電壓。33.根據(jù)權(quán)利要求32所述的方法，其中所述第一和第二激活電位、所述第一和第二保持電位以及所述第一和第二保持電位中的每一者為相反極性且關(guān)于所述偏移電壓對(duì)稱。34.根據(jù)權(quán)利要求28所述的方法，其中當(dāng)以正極性電位驅(qū)動(dòng)時(shí)每一MEMS顯示器元件的光調(diào)制特性大體等同于當(dāng)以負(fù)極性電位驅(qū)動(dòng)時(shí)的光調(diào)制特性。35.—種微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)顯示器裝置，其包括顯示構(gòu)件，其用于顯示圖像數(shù)據(jù)的行和列，其中所述構(gòu)件特征在于包括優(yōu)選正和優(yōu)選負(fù)的激活電位差、優(yōu)選正和優(yōu)選負(fù)的保持電位差以及優(yōu)選釋放電位差的一組優(yōu)選的驅(qū)動(dòng)電位差，其中所述組優(yōu)選的驅(qū)動(dòng)電位差關(guān)于與0V相差偏移量3V的電壓對(duì)稱；以及寫入構(gòu)件，其用于通過將電壓施加到陣列的每一列和陣列的每一行以便施加第一和第二激活電位差、第一和第二保持電位差以及第一和第二釋放電位差來將圖像數(shù)據(jù)寫入到所述顯示構(gòu)件，其中從一組僅四個(gè)不同電壓電平中選擇所述電壓，且其中第一和第二保持電位為相反極性。36.根據(jù)權(quán)利要求35所述的裝置，其中所述用于顯示的構(gòu)件包括配置為干涉式調(diào)制器的MEMS元件的陣列。37.根據(jù)權(quán)利要求36所述的裝置，其中所述用于寫入圖像數(shù)據(jù)的構(gòu)件包括陣列驅(qū)動(dòng)器電路。全文摘要另一實(shí)施例揭示一種驅(qū)動(dòng)包含MEMS元件陣列的顯示器裝置的方法。所述MEMS元件特征在于包含優(yōu)選正和優(yōu)選負(fù)的激活電位差、優(yōu)選正和優(yōu)選負(fù)的保持電位差以及優(yōu)選釋放電位差的一組優(yōu)選的驅(qū)動(dòng)電位差，其中所述組優(yōu)選的驅(qū)動(dòng)電位差關(guān)于與0V相差偏移量δV的電壓對(duì)稱。另一實(shí)施例使用一組減小的電源電壓，同時(shí)維持在無可見假象的情況下施加相反極性的電位差的電荷平衡效果。文檔編號(hào)G09G3/34GK101385066SQ200780005111公開日2009年3月11日申請(qǐng)日期2007年1月16日優(yōu)先權(quán)日2006年2月9日發(fā)明者馬尼什·科塔里申請(qǐng)人:Idc公司