技術(shù)編號(hào):2444758
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒(méi)有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明提供具有良好的阻氣性且不需要大型設(shè)備、大量的工序,能夠簡(jiǎn)便并且低成本地制造,即便在250℃以上進(jìn)行熱處理也具有良好的物性的。所述包括在由具有特定結(jié)構(gòu)的重復(fù)單元的聚酰亞胺形成的透明聚酰亞胺薄膜的至少一側(cè)的面上涂布包含聚硅氮烷的溶液之后,在180℃以上的溫度下進(jìn)行焙燒從而層疊硅氧化物層的工序。專利說(shuō)明[0001]本發(fā)明涉及,特別是涉及具有良好的阻氣性并且不需要大型設(shè)備、大量的工序、且能夠以簡(jiǎn)便并且低成本地制造的。背景技術(shù)[0002]顯示器用基板等電子裝置...
注意:該技術(shù)已申請(qǐng)專利,請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出,在未取得專利權(quán)人授權(quán)前,僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備,不適合論文引用。