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阻氣疊層膜及其制造方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):2444351

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本發(fā)明提供一種阻氣疊層膜以及阻氣疊層膜的制造方法,所述阻氣疊層膜是在基體材料膜的至少一面形成一層或多層無(wú)機(jī)薄膜層而成的,其中,所述無(wú)機(jī)薄膜層中所述基體材料膜側(cè)的第一層是通過(guò)對(duì)向靶濺射法成膜而得到的;所述阻氣疊層膜的制造方法是在基體材料膜的至少一面形成一層或多層無(wú)機(jī)薄膜層的阻氣疊層膜的制造方法,該方法包括通過(guò)對(duì)向靶濺射法成膜所述無(wú)機(jī)薄膜層中所述基體材料膜側(cè)的第一層。本發(fā)明的阻氣疊層膜及阻氣疊層膜的制造方法對(duì)于待成膜無(wú)機(jī)薄膜層的基體材料膜、特別是對(duì)于樹(shù)脂膜的損...
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