技術(shù)編號(hào):2444335
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。提供與以往的無機(jī)膜成膜相比可以廉價(jià)地制造、并且無需繁雜的制造工序、容易地具有優(yōu)異的阻氣性和撓性的阻氣層疊體、其制造方法、包含該阻氣層疊體的電子裝置用部件、以及具備該電子裝置用部件的電子裝置。阻氣層疊體,其為在基材上具有阻氣層的阻氣層疊體,其特征在于,所述阻氣層為向有機(jī)硅化合物薄膜注入離子而得到的,所述有機(jī)硅化合物薄膜通過使用有機(jī)硅化合物作為原料的CVD法形成,該阻氣層疊體的制造方法、包含所述阻氣層疊體的電子裝置用部件、以及具備該電子裝置用部件的電子裝置。專...
注意:該技術(shù)已申請(qǐng)專利,請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出,在未取得專利權(quán)人授權(quán)前,僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
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