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氣體阻隔性薄膜及采用了該薄膜的有機器件的制作方法技術資料下載

技術編號:2442738

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本發(fā)明涉及水蒸氣阻隔性優(yōu)異的氣體阻隔性薄膜以及采用了該薄膜的有機器件(device )。 背景技術一直以來人們都在研究有機器件中使用的薄膜。例如在日本特開2003 一51382號公報中公開了一種薄膜,它是在高分子薄膜的表面具有被膜的有 機器件用薄膜,其特征在于,上述被膜由含有硅、氮、氫、氧的無機聚合 物構成。另外,在日本特開平8—68990號公報中公開了氣體阻隔性低透濕 性絕緣性透明電極用基板,其特征在于,在透明基板的至少一個面上層疊 了由至少一層氮化物構...
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