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搬運(yùn)機(jī)器人和包括搬運(yùn)機(jī)器人的設(shè)備前端模塊的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):2382505

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本文所公開(kāi)的實(shí)施方式涉及搬運(yùn)機(jī)器人和包括搬運(yùn)機(jī)器人的設(shè)備前端模塊。背景技術(shù)常規(guī)上,已知有一種搬運(yùn)機(jī)器人,該搬運(yùn)機(jī)器人設(shè)置在形成于設(shè)備前端模塊(EFEM)中的空間內(nèi)并且搬運(yùn)諸如半導(dǎo)體晶片的基板。搬運(yùn)機(jī)器人通常包括臂主體,并且例如通過(guò)在由臂主體保持基板的情況下沿水平方向移動(dòng)臂主體以及移動(dòng)設(shè)置在臂主體的末端部處的末端執(zhí)行器來(lái)搬運(yùn)基板。臂主體自身通常由能夠執(zhí)行升降操作的升降單元來(lái)支承。因?yàn)橹T如半導(dǎo)體晶片的產(chǎn)品在EFEM中被操縱,因此特別需要保持EFEM內(nèi)的空氣極其...
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