技術(shù)編號(hào):2371648
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒(méi)有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。背景技術(shù)在例如用于基片傳送設(shè)備這樣的實(shí)施例中,傳送臂將各個(gè)端頭執(zhí)行裝置安裝于其上以攜帶基片(例如半導(dǎo)體晶片或平板顯示器)經(jīng)過(guò)適宜的路徑去進(jìn)行處理?;湫偷厥抢镁投祟^執(zhí)行裝置之間的摩擦力而被握住的,這個(gè)摩擦力在某些應(yīng)用中可以用真空或靜電固定予以補(bǔ)充或相伴同。因此,如果基片上的慣性力超過(guò)了將它固定在端頭執(zhí)行裝置上的固定力,則基片將會(huì)滑動(dòng),這導(dǎo)致傳送時(shí)間受到這個(gè)固定力的大小的限制。此外,另外的一些限制(例如受限的速度和跳動(dòng))對(duì)于安全操作和軌跡跟蹤等原因通...
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