技術(shù)編號(hào):1941295
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒(méi)有賬戶(hù)請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明一般地涉及制備作為涂層應(yīng)用的陶瓷粉末。具體地,本發(fā)明涉及純化用于熱噴涂應(yīng)用的金屬氧化物粉末,如氧化釔和氧化鋁粉末。背景技術(shù) 高純度的金屬氧化物材料對(duì)于科學(xué)研究和許多高技術(shù)應(yīng)用和加工過(guò)程是必需的。這些材料用來(lái)構(gòu)成元件或形成相似純度的表面涂層。例如,其他參考文獻(xiàn)報(bào)導(dǎo)了一種半導(dǎo)體IC設(shè)計(jì)真空室的氧化釔表面涂層和一種在等離子體處理室中的元件的高純度氧化釔和氧化鋁的多層涂層系統(tǒng)。其他文獻(xiàn)公開(kāi)了一種靜電夾盤(pán)的高純度氧化鋁的阻擋層。熱噴涂法,尤其是等離子噴涂法,被...
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