技術(shù)編號：1940347
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及功能薄膜材料領(lǐng)域，具體涉及。背景技術(shù)鈦酸鉍是具有鈣鈦礦結(jié)構(gòu)鉍層狀化合物大家族中結(jié)構(gòu)最簡單、研究得最多的鐵電體。稀土摻雜鈦酸鉍鐵電[(Bi4—xLnx)Ti30,2]薄膜材料的主要成分是鈦酸 鉍，它不但是一種性能優(yōu)異的鐵電材料，又因其具有良好的介電、鐵電性能和 非線性光學(xué)效應(yīng)，在現(xiàn)代微電子、微機電系統(tǒng)、信息存儲等方面有著廣闊的應(yīng) 用前景。隨著當今社會對微電子光電子器件要求的不斷提高，有必要研究和提 高這類薄膜材料的性能。目前，鐵電薄膜制備的方法較多...
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