技術(shù)編號(hào)：1937615
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明屬于多晶硅氫化爐及單晶硅提拉爐用發(fā)熱體，具體 涉及一種。背景技術(shù)多晶硅、單晶硅、硅片材料是半導(dǎo)體工業(yè)最重要的主體功能材料，是第一大功能電子材料，至今國際上集成電路芯片及各類半導(dǎo)體器件的95% 以上都是由硅片制造的。生產(chǎn)多晶硅的氣化爐、單晶硅提拉爐均需要配套 炭/炭發(fā)熱體，通常要求具有較高的電阻值(0.08-0.2Q)及高純度(灰分 S50ppm )。中國專利ZL200610043185X,名稱為"單晶硅拉制爐及多晶硅冶煉爐 用炭/炭加熱器的制備方法"...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。