技術(shù)編號(hào):1920051
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒(méi)有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種適合用于高容量密度的薄膜電容器的鐵電薄膜形成用組合物、鐵電薄膜的形成方法及通過(guò)該方法形成的鐵電薄膜。背景技術(shù)作為這種鐵電薄膜的制造方法,一般已知有如下方法使用將各成分金屬的醇鹽或有機(jī)酸鹽溶解于極性溶劑中的混合溶液,并涂布在金屬基板上,干燥而形成涂膜,并加熱到結(jié)晶化溫度以上的溫度進(jìn)行燒結(jié),由此對(duì)介電薄膜進(jìn)行成膜(例如參照專利文獻(xiàn)1、2)。但是,當(dāng)做成薄膜時(shí),存在由基板的約束引起的大的應(yīng)力作用,從而存在得不到充分的相對(duì)介電常數(shù)這樣的問(wèn)題(例如參照...
注意:該技術(shù)已申請(qǐng)專利,請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出,在未取得專利權(quán)人授權(quán)前,僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備,不適合論文引用。