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鐵電薄膜形成用組合物、鐵電薄膜的形成方法及鐵電薄膜的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):1920051

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本發(fā)明涉及一種適合用于高容量密度的薄膜電容器的鐵電薄膜形成用組合物、鐵電薄膜的形成方法及通過(guò)該方法形成的鐵電薄膜。背景技術(shù)作為這種鐵電薄膜的制造方法,一般已知有如下方法使用將各成分金屬的醇鹽或有機(jī)酸鹽溶解于極性溶劑中的混合溶液,并涂布在金屬基板上,干燥而形成涂膜,并加熱到結(jié)晶化溫度以上的溫度進(jìn)行燒結(jié),由此對(duì)介電薄膜進(jìn)行成膜(例如參照專利文獻(xiàn)1、2)。但是,當(dāng)做成薄膜時(shí),存在由基板的約束引起的大的應(yīng)力作用,從而存在得不到充分的相對(duì)介電常數(shù)這樣的問(wèn)題(例如參照...
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