技術(shù)編號：1911858
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明提供，其特征在于，包括以下步驟車削、磨錐、砂帶打磨、刻槽。本發(fā)明的加工方法有效的改善了大直徑多晶棒料的外觀及表面質(zhì)量，大大降低了懸浮區(qū)熔法8英寸硅單晶生長的難度。專利說明-種大直徑多晶棒料的加工方法 [0001] 本發(fā)明屬于半導(dǎo)體材料領(lǐng)域，尤其涉及。 背景技術(shù) [0002] 多晶棒料的加工是為拉制單晶提供原材料，對加工后棒料的幾何形狀有嚴格的尺 寸要求。幾何形狀不規(guī)則的棒料在拉晶過程中經(jīng)常出現(xiàn)問題，不利于晶體的自動生長。目 前行業(yè)內(nèi)普遍采用...
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