專利名稱：涂膠顯影機(jī)熱處理單元的制作方法
涂膠顯影機(jī)熱處理單元
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及半導(dǎo)體晶片制造領(lǐng)域，尤其涉及一種涂膠顯影機(jī)熱處理單元。背景技術(shù)：
涂膠顯影機(jī)廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體晶片加工處理過程，尤其是在涂膠顯影過程中，包 括粘附促進(jìn)劑涂層、光刻膠、前烘、曝光、抗蝕層、后烘等過程的處理。普通的涂膠顯影機(jī)中 熱處理單元(Heat treatment unit)的加熱板、冷卻板以及粘附板等普遍只采用一塊圓形 熱板，并且在熱板的中心只有一個鉬電阻溫度傳感器，因此溫度監(jiān)控不到位，溫度控制不靈 敏，容易造成溫度不均勻，引起風(fēng)險作業(yè)，并且一旦部分損壞后只能全部更換該熱板，成本 較高，操作麻煩。

發(fā)明內(nèi)容基于此，有必要提供一種溫度監(jiān)控精確的涂膠顯影機(jī)熱處理單元。一種涂膠顯影機(jī)熱處理單元，包括兩塊以上分熱板以及與分熱板連接的電路系 統(tǒng)，每塊分熱板上設(shè)有至少一個溫度傳感器。優(yōu)選的，所述兩塊以上分熱板組合成一塊圓形熱板。優(yōu)選的，所述熱板為加熱板、冷卻板或粘附板。優(yōu)選的，所述分熱板設(shè)有兩個以上均勻分布的溫度傳感器。優(yōu)選的，所述分熱板數(shù)量為6塊。優(yōu)選的，所述6塊分熱板包括處于中心的圓形分熱板及5塊同樣大小的圍繞所述 圓形分熱板的扇形分熱板。優(yōu)選的，每塊分熱板上有3個溫度傳感器。優(yōu)選的，所述溫度傳感器為鉬電極溫度傳感器。優(yōu)選的，所述電路系統(tǒng)包括溫度顯示面板、多點溫度控制器、加熱控制單元及中央 處理器；所述溫度顯示面板與溫度傳感器連接，顯示所述溫度傳感器的測量溫度；所述多 點溫度控制器與溫度傳感器和中央處理器連接，將溫度傳感器測量的溫度信號傳給中央處 理器，中央處理器根據(jù)接收的溫度信號管理加熱控制單元實現(xiàn)對分熱板的溫度進(jìn)行實時控 制。優(yōu)選的，所述中央處理器根據(jù)接收的溫度信號管理加熱控制單元實現(xiàn)對分熱板的 溫度進(jìn)行實時控制是將各個溫度傳感器的溫度信號與電路系統(tǒng)預(yù)先設(shè)定的溫度值進(jìn)行對 比，分析得到產(chǎn)生溫度不均勻的分熱板編號傳給多點溫度控制器，多點溫度控制器對產(chǎn)生 溫度不均勻的分熱板獨(dú)立進(jìn)行功率控制以調(diào)整溫度或者發(fā)出警報，關(guān)閉電路系統(tǒng)。多塊獨(dú)立的分熱板分別設(shè)計、互不影響組成一塊大的圓形熱板，溫度控制更精確， 并且每塊分熱板上面有至少一個溫度傳感器，保證溫度監(jiān)控更準(zhǔn)確，一旦問題發(fā)生能及時 報警，同時維修更容易，只需要更換相應(yīng)的壞損的分熱板而不需去更換整塊大熱板，從而成 本低、操作簡單，節(jié)省時間。
圖1為本發(fā)明一較佳實施方式的熱板結(jié)構(gòu)示意圖。圖2為熱處理單元對應(yīng)的電路系統(tǒng)示意圖。
具體實施方式
下面主要結(jié)合

涂膠顯影機(jī)的熱處理單元的熱板結(jié)構(gòu)及電路系統(tǒng)。通過將熱處理單元的一塊熱板分成多塊分熱板，分開對晶片進(jìn)行加熱，并且每塊 分熱板上至少有一個用于監(jiān)控的溫度傳感器，保證了一旦分熱板傳熱出現(xiàn)問題引起溫度不 均，設(shè)備自動調(diào)整溫度或者報警并且停止作業(yè)。多塊分熱板組成一塊較大的圓形熱板區(qū)域， 分開監(jiān)控，保證了溫度處理的精確性，報警系統(tǒng)的穩(wěn)定性，并且只需更換壞損的分熱板而不 需去更換整個熱板，從而降低了維護(hù)的成本，提高了維護(hù)的效率。熱處理單元熱板可以是粘附板、加熱板和冷卻板等。如圖1所示為本發(fā)明的一較 佳實施方式熱處理單元熱板結(jié)構(gòu)示意圖，圖中的熱板區(qū)域一共包括6塊分熱板，分別編號 為He_l、He_2、He_3、He_4、He_5和He_6，處于中心的分熱板He_l為圓形，其他5塊同樣大 小的分熱板呈扇形圍繞中心的分熱板He_l而組合成一塊較大的圓形熱板。每塊分熱板上
包括有3個分布均勻的鉬電阻溫度傳感器，分別編號為Pt_l、Pt_2......Pt_17、Pt」8，可
以準(zhǔn)確靈敏的檢測分熱板上的溫度變化。在其他實施方式中，熱板也可以分成4塊、5塊、7塊分熱板等，溫度傳感器均勻分 布于分熱板上，其數(shù)量根據(jù)分熱板的面積大小做出相應(yīng)的調(diào)整。如圖2所示為涂膠顯影機(jī)熱處理單元對應(yīng)的電路示意圖。該電路系統(tǒng)200包括溫 度顯示面板210、多點溫度控制器220、中央處理器230及加熱控制單元MO。溫度顯示面板210與溫度傳感器連接，顯示所有溫度傳感器的測量溫度。多點溫 度控制器220與溫度傳感器和中央處理器230連接，將各個溫度傳感器測量溫度信號傳給 中央處理器230，中央處理器230將接收的溫度信號與熱板預(yù)先設(shè)定的溫度值進(jìn)行對比，以 得到產(chǎn)生溫度不均勻的分熱板編號，再傳給多點溫度控制器對0，對產(chǎn)生溫度誤差的分熱板 獨(dú)立進(jìn)行功率控制以調(diào)整產(chǎn)熱或著發(fā)出警報，關(guān)閉電路系統(tǒng)。通過在溫度顯示面板210上顯示不同溫度傳感器的測量溫度，用戶可以很方便的 掌握涂膠顯影進(jìn)程中的各塊分熱板控溫狀況，對于檢測到有溫度不均勻的分熱板，一方面 加熱控制單元240可以通過獨(dú)立調(diào)整對應(yīng)的加熱電路功率輸出，調(diào)整產(chǎn)生誤差的分熱板的 溫度；另一方面對出現(xiàn)比較嚴(yán)重的情況，系統(tǒng)可以根據(jù)設(shè)置發(fā)出警報，停止運(yùn)作，必要時只 需要更換出現(xiàn)問題的分熱板即可繼續(xù)運(yùn)行系統(tǒng)。多塊獨(dú)立的分熱板分別設(shè)計、互不影響組成一塊大的熱板，溫度控制更精確，并且 每塊分熱板上面有至少一個溫度傳感器，保證溫度監(jiān)控更準(zhǔn)確，一旦問題發(fā)生能及時報警， 同時維修更容易，只需要更換相應(yīng)的壞損的分熱板而不需去更換整塊大熱板，從而成本低、 操作簡單，節(jié)省時間。以上所述實施例僅表達(dá)了本發(fā)明的幾種實施方式，其描述較為具體和詳細(xì)，但并 不能因此而理解為對本發(fā)明專利范圍的限制。應(yīng)當(dāng)指出的是，對于本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員 來說，在不脫離本發(fā)明構(gòu)思的前提下，還可以做出若干變形和改進(jìn)，這些都屬于本發(fā)明的保護(hù)范圍。因此，本發(fā)明專利的保護(hù)范圍應(yīng)以所附權(quán)利要求為準(zhǔn)。
權(quán)利要求
1.一種涂膠顯影機(jī)熱處理單元，其特征在于，包括兩塊以上分熱板以及與分熱板連接 的電路系統(tǒng)，每塊分熱板上設(shè)有至少一個溫度傳感器。
2.如權(quán)利要求1所述的涂膠顯影機(jī)熱處理單元，其特征在于，所述兩塊以上分熱板組 合成一塊圓形熱板。
3.如權(quán)利要求2所述的涂膠顯影機(jī)熱處理單元，其特征在于，所述熱板為加熱板、冷卻 板或粘附板。
4.如權(quán)利要求1至3中任意一項所述的涂膠顯影機(jī)熱處理單元，其特征在于，所述分熱 板設(shè)有兩個以上均勻分布的溫度傳感器。
5.如權(quán)利要求4所述的涂膠顯影機(jī)熱處理單元，其特征在于，所述分熱板數(shù)量為6塊。
6.如權(quán)利要求5所述的涂膠顯影機(jī)熱處理單元，其特征在于，所述6塊分熱板包括處于 中心的圓形分熱板及5塊同樣大小的圍繞所述圓形分熱板的扇形分熱板。
7.如權(quán)利要求4所述的涂膠顯影機(jī)熱處理單元，其特征在于，每塊分熱板上有3個溫度 傳感器。
8.如權(quán)利要求4所述的涂膠顯影機(jī)熱處理單元，其特征在于，所述溫度傳感器為鉬電 阻溫度傳感器。
9.如權(quán)利要求1所述的涂膠顯影機(jī)熱處理單元，其特征在于，所述電路系統(tǒng)包括溫度 顯示面板、多點溫度控制器、加熱控制單元及中央處理器；所述溫度顯示面板與溫度傳感器 連接，顯示所述溫度傳感器的測量溫度；所述多點溫度控制器與溫度傳感器和中央處理器 連接，將溫度傳感器測量的溫度信號傳給中央處理器，中央處理器根據(jù)接收的溫度信號管 理加熱控制單元實現(xiàn)對分熱板的溫度進(jìn)行實時控制。
10.如權(quán)利要求9所述的涂膠顯影機(jī)熱處理單元，其特征在于，所述中央處理器根據(jù)接 收的溫度信號管理加熱控制單元實現(xiàn)對分熱板的溫度進(jìn)行實時控制是將各個溫度傳感器 的溫度信號與電路系統(tǒng)預(yù)先設(shè)定的溫度值進(jìn)行對比，分析得到產(chǎn)生溫度不均勻的分熱板編 號傳給多點溫度控制器，多點溫度控制器對產(chǎn)生溫度不均勻的分熱板獨(dú)立進(jìn)行功率控制以 調(diào)整溫度或者發(fā)出警報，關(guān)閉電路系統(tǒng)。
全文摘要
本發(fā)明涉及一種涂膠顯影機(jī)熱處理單元，包括兩塊以上分熱板，每塊分熱板上設(shè)有至少一個溫度傳感器，所述兩塊以上分熱板組合成一塊圓形熱板。多塊獨(dú)立的分熱板分別設(shè)計、互不影響組成一塊大的圓形熱板，溫度控制更精確，并且每塊分熱板上面有至少一個溫度傳感器，保證溫度監(jiān)控更準(zhǔn)確，一旦問題發(fā)生能及時報警，同時維修更容易，只需要更換相應(yīng)的壞損的分熱板而不需去更換整塊大熱板，從而成本低、操作簡單，節(jié)省時間。
文檔編號G03F7/00GK102073214SQ200910189509
公開日2011年5月25日 申請日期2009年11月23日 優(yōu)先權(quán)日2009年11月23日
發(fā)明者張賢識, 王利, 趙軍鋒 申請人:無錫華潤上華半導(dǎo)體有限公司, 無錫華潤上華科技有限公司