技術編號：1877622
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明涉及。根據(jù)本發(fā)明，提供用于清潔適合于鋸切半導體工件（130）的線鋸的線（150）的裝置（100、300、400、500、700）、方法和用法。裝置（100、300、400、500、700）包含容器（110），容器（110）包含第一開口（115）。容器（110）由疏松固體顆粒（111）填充并經(jīng)調適以使得線（150）能夠經(jīng)第一開口（115）通過疏松固體顆粒（111）。專利說明[0001]本文所描述的主題大體涉及線鋸的清潔方法和清潔系統(tǒng)，更具體來說涉及用于...
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