技術(shù)編號:1876439
提示:您尚未登錄,請點 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。一種,通過CVD法利用設(shè)置在退火爐內(nèi)的多個噴射器在玻璃帶上形成層疊膜,并將所述玻璃帶切斷,該制造方法中,層疊膜在Tg+50℃以下形成,且層疊膜中至少2層以上的層在從Tg+50℃到Tg的溫度范圍內(nèi)形成。而且,形成層疊膜的全部層的溫度范圍內(nèi)的玻璃帶的每單位長度的下降溫度K1為0℃/m<K1<10℃/m。專利說明[0001]本發(fā)明涉及,特別是涉及通過在線CVD (ChemicalVapor Deposition,化學(xué)氣相沉積)法在退火爐內(nèi)在玻璃帶上形成層疊膜的。...
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