技術(shù)編號(hào):1868676
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。一種適用于硅料加工的多孔鉆機(jī)[0001]本實(shí)用新型屬于硅材料加工設(shè)備,特別涉及一種可對(duì)硅料進(jìn)行高效率加工的多孔鉆機(jī)。背景技術(shù)[0002]近年來(lái),以晶硅電池為主的光伏行業(yè)的得到迅速發(fā)展,多晶硅生產(chǎn)技術(shù)也在快速的進(jìn)步中。但是,目前國(guó)內(nèi)的硅材料加工技術(shù)方面技術(shù)進(jìn)展不大,依靠在還原爐內(nèi)發(fā)生化學(xué)氣象沉積反應(yīng)來(lái)沉積多晶硅的技術(shù)在經(jīng)過幾十年的運(yùn)行證明后,目前仍為主流技術(shù)之一, 而這一主流技術(shù)需要的沉積載體則是硅芯及硅橋,所以,尋找到一個(gè)高效率的硅芯及硅橋加工技術(shù)顯得特別...
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