技術編號：1851091
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明屬于陶瓷復合薄膜的制備領域，特別涉及一種。背景技術微機電系統(tǒng)(MEMS)是指集微型結構的傳感器、微型執(zhí)行器和信號處理與控制電路于一體，形成同時具有信息獲取、處理和執(zhí)行功能的智能微型器件或微型系統(tǒng)。整個系統(tǒng)的加工尺寸為微米數(shù)量級，制造材料多選用單晶或多晶硅。微型機械具有體積小、質量輕、能耗低、集成度高和智能化程度高等特點，在生物醫(yī)學、航空航天、軍事和工農業(yè)各方面具有 廣闊的應用前景，并受到世界各國科學界、產業(yè)界以及政府部門的高度重視。近年來，有關復合陶...
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