技術(shù)編號：1842386
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及一種熱處理工藝，具體涉及一種用于降低鐵電陶瓷薄膜殘余應(yīng)力的熱處理方法。背景技術(shù)近年來，鐵電陶瓷及其薄膜材料，尤其是鋯鈦酸鉛Pb(Zr，Ti)O3(PZT)薄膜正受到普遍重視。這種陶瓷材料具有優(yōu)良的壓電、熱釋電及鐵電性能，而且其薄膜材料的潛在優(yōu)越性已經(jīng)受到很大的關(guān)注，而且已經(jīng)應(yīng)用在集成電路、航空、微電機械系統(tǒng)以及普通工程領(lǐng)域內(nèi)。雖然商業(yè)性應(yīng)用已經(jīng)出現(xiàn)，但是器件的疲勞及性能穩(wěn)定性始終是制約該類薄膜實際應(yīng)用的瓶頸，其中殘余應(yīng)力是薄膜材料的一個內(nèi)生秉性，...
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該專利適合技術(shù)人員進行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。