技術(shù)編號(hào)：1831046
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明屬于功能陶瓷材料及其制造。特別涉及利用電泳沉積法與溶膠浸潤(rùn)法相結(jié)合的兩步法在導(dǎo)電性基板制備陶瓷厚膜的。背景技術(shù) 目前，隨著信息技術(shù)的高速發(fā)展，電子器件正朝著微型機(jī)械或微型機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)的方向發(fā)展。微型機(jī)電系統(tǒng)的重要組成部分是微驅(qū)動(dòng)器，或稱微型執(zhí)行器，是一種重要的執(zhí)行機(jī)構(gòu)。它的主要功能是實(shí)現(xiàn)力和/或位移的輸出。壓電陶瓷具有機(jī)電、聲、光、熱、彈性等多種功能及耦合效應(yīng)，可以用作壓力、溫度、光等多種傳感器，壓電驅(qū)動(dòng)器又具有位移控制精度高、響應(yīng)快、驅(qū)動(dòng)力...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。