技術(shù)編號：1808330
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及，尤其涉及一種沉積有超薄透明的硬質(zhì)類金剛石薄膜的玻璃基板，該薄膜具有高的可見光及太陽光譜透射比，能夠大幅度的提升玻璃基板表面的耐劃傷性。背景技術(shù)類金剛石(diamond-1 ike carbon,簡稱DLC)薄膜是一種非晶碳膜,它同時含有類似于金剛石的Sp3雜化鍵與類似于石墨的Sp2雜化鍵，國際上定義類金剛石薄膜為硬度超過金剛石硬度20%的絕緣硬質(zhì)無定形碳膜，包括含氫類金剛石薄膜與無氫類金剛石薄膜。從九十年代中期以來，類金剛石薄膜的制備便得到普遍...
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