技術(shù)編號(hào):1807938
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒(méi)有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明屬于陶瓷加工技術(shù),特別涉及一種反應(yīng)等離子噴涂納米晶氮化物涂層的方法。背景技術(shù) 氮化物不僅具有一般陶瓷固有的優(yōu)異性能,還表現(xiàn)出韌性好、導(dǎo)電、導(dǎo)熱等金屬特性,因其特殊的性能,越來(lái)越被人們所關(guān)注。氮化物涂層目前的制備方法采用物理氣相沉積法(陰極電弧沉積)和化學(xué)氣相沉積法(磁控濺射、陰極弧蒸發(fā)法、過(guò)濾電弧沉積、多弧離子鍍技術(shù)、等離子增強(qiáng)CVD法)。在國(guó)外,日本的Akira Kobayashi(Akira kobayashi.Formation of TiN ...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備,不適合論文引用。