技術(shù)編號：1806843
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及在半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)等中適合作為制造在高溫和減壓的環(huán)境下所使用的管材或坩堝等合成二氧化硅玻璃產(chǎn)品的原料的高純度的。背景技術(shù)以往，半導(dǎo)體用途的單晶制造中使用的坩堝或夾具類是將通過粉碎天然石英或硅砂后精制而得到的石英粉作為原料來制造的。但是，天然石英或硅砂含有各種金屬雜質(zhì)，即使進(jìn)行上述精制處理，也不能完全去除金屬雜質(zhì)，因此在純度方面不能充分滿足。此外，隨著半導(dǎo)體的聞集成化的發(fā)展，對可成為材料的單晶的品質(zhì)要求提聞，對該單晶的制造中使用的坩堝或夾具類也期望高純度...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。