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晶棒粘接裝置的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:1800506

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晶棒粘接裝置[0001]本實用新型涉及晶體制造,LED襯底基材的生產(chǎn)及半導(dǎo)體制造,特別涉及 晶體加工行業(yè)的晶棒粘接裝置。背景技術(shù)[0002]目前,在LED生產(chǎn)制造領(lǐng)域或者半導(dǎo)體領(lǐng)域中,常會使用到長度固定的晶棒,通常 晶棒的長度在40-300mm?,F(xiàn)有晶棒生產(chǎn)加工的設(shè)備只能滿足300mm切割工藝,所形成的晶 棒往往長度長短不一,即很多晶棒不符合晶棒使用的長度要求,需要多根晶棒粘接在一起。[0003]為了避免對于不符合晶棒使用長度要求的此類晶棒的浪費,現(xiàn)有工藝...
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