專利名稱：晶棒粘接裝置的制作方法
技術領域：
晶棒粘接裝置技術領域[0001]本實用新型涉及晶體制造，LED襯底基材的生產(chǎn)及半導體制造技術領域，特別涉及 晶體加工行業(yè)的晶棒粘接裝置。
背景技術：
[0002]目前，在LED生產(chǎn)制造領域或者半導體領域中，常會使用到長度固定的晶棒，通常 晶棒的長度在40-300mm?，F(xiàn)有晶棒生產(chǎn)加工的設備只能滿足300mm切割工藝，所形成的晶 棒往往長度長短不一，即很多晶棒不符合晶棒使用的長度要求，需要多根晶棒粘接在一起。[0003]為了避免對于不符合晶棒使用長度要求的此類晶棒的浪費，現(xiàn)有工藝中常使用晶 棒粘接工藝，將不符合晶棒使用長度要求的多根短晶棒粘接在一起，使得粘接后的晶棒滿 足晶棒加工長度要求。由此，便可使用粘接后的晶棒，從而將不符合晶棒使用長度要求的短 晶棒利用起來了，避免了對于此類晶棒的浪費。[0004]為了使得短晶棒粘接在一起，常常首先需要對這些短晶棒根據(jù)工藝要求定向后固 定起來，然后使得固定后的短晶棒對接在一條料板上，最后涂敷粘接劑使得短晶棒粘接起 來?，F(xiàn)有工藝中，尚沒有使得短晶棒粘接在一起的裝置，對于實現(xiàn)晶棒的粘接非常的不方 便。因此，提供一套能夠實現(xiàn)晶棒粘接的裝置，成了本領域技術人員亟待解決的問題。實用新型內(nèi)容[0005]本實用新型的目的在于提供一種晶棒粘接裝置，以解決現(xiàn)有技術中晶棒粘接不方 便的問題。[0006]為解決上述技術問題，本實用新型提供一種晶棒粘接裝置，包括平臺；設置于所 述平臺上的粘接臺；設置于所述平臺上的導向臺；以及多個固定所述晶棒的固定夾，所述 多個固定夾能夠沿著導向臺運動。[0007]可選的，在所述的晶棒粘接裝置中，所述導向臺包括方箱及固定于所述方箱上的第一線軌。[0008]可選的，在所述的晶棒粘接裝置中，所述固定夾包括外固定塊、設置于所述外固定 塊中的內(nèi)固定塊、以及連接外固定塊與內(nèi)固定塊的連接螺絲。[0009]可選的，在所述的晶棒粘接裝置中，所述連接螺絲為內(nèi)六角沉頭螺絲。[0010]可選的，在所述的晶棒粘接裝置中，所述固定夾還包括連接外固定塊與內(nèi)固定塊 的微分頭。[0011]可選的，在所述的晶棒粘接裝置中，還包括設置于所述平臺上的限位螺桿，所述固 定夾運動到一定位置后，固定于所述限位螺桿上。[0012]可選的，在所述的晶棒粘接裝置中，還包括限位螺母，所述固定夾通過所述限位螺 母固定于所述限位螺桿上。[0013]可選的，在所述的晶棒粘接裝置中，還包括設置于平臺上的第二線軌，所述粘接臺 或者所述導向臺能夠沿著所述第二線軌運動。[0014]在本實用新型提供的晶棒粘接裝置中，利用多個固定夾固定多根晶棒，其中，每個 固定夾固定一根晶棒；每個固定夾沿著導向臺運動到一定位置后停止；粘接臺粘接多個固 定夾中的多根晶棒，由此，可方便地實現(xiàn)晶棒粘接，即簡化了晶棒粘接工藝，提聞了晶棒粘 接效率，從而降低生產(chǎn)成本。


[0015]圖1是本實用新型實施例的晶棒粘接裝置的結構示意圖。
具體實施方式
[0016]
以下結合附圖和具體實施例對本實用新型提出的晶棒粘接裝置作進一步詳細說 明。根據(jù)下面說明和權利要求書，本實用新型的優(yōu)點和特征將更清楚。需說明的是，附圖均 采用非常簡化的形式且均使用非精準的比例，僅用以方便、明晰地輔助說明本實用新型實 施例的目的。[0017]請參考圖1，其為本實用新型實施例的晶棒粘接裝置的結構示意圖。如圖1所示， 所述晶棒粘接裝置I包括[0018]平臺10 ;設置于所述平臺10上的粘接臺11 ;設置于所述平臺10上的導向臺12 ； 以及多個固定所述晶棒2的固定夾13，所述多個固定夾13能夠沿著導向臺12運動。[0019]在本實施例中，所述固定夾13的數(shù)量為三個，可以實現(xiàn)將三個(短)晶棒2粘接在 一起。通常的，粘接后的晶棒的長度為300_，當然，根據(jù)實際生產(chǎn)的需要，粘接后的晶棒長 度也可以不同，例如為250mm、280mm、300mm等,本申請對此并不做限定。此外,在本實用新 型的其他實施例中，所述固定夾13的數(shù)量也可以為更多個或者更少個，例如，所述固定夾 13的數(shù)量可以為兩個、四個或者五個等。[0020]優(yōu)選的，所述平臺10的材料為金屬，具體的，所述平臺10可以鑄鐵件。由此，所述 平臺10能夠穩(wěn)定的承載粘接臺11、導向臺12、固定夾13等部件，并在進行晶棒粘接時保持 穩(wěn)定，從而提聞晶棒粘接的可罪性。[0021]其中，所述粘接臺11用以提供晶棒粘接的粘接劑，此粘接臺11為現(xiàn)有技術，本申 請對此不再贅述。在本申請中，將這一粘接臺11與其他部件有機的結合，從而可以方便、精 準地實現(xiàn)對于晶棒的粘接，簡化工藝操作，提高粘接精度及可靠性。[0022]進一步的，所述導向臺12包括方箱121及固定于所述方箱121上的第一線軌122。 具體的，所述固定夾13沿著第一線軌122運動/滑動到特定位置，以便于對晶棒的粘接。優(yōu) 選的，所述方箱121及所述第一線軌122的材料均為金屬，具體的，所述方箱121為鑄鐵件、 所述第一線軌122為鋼材。通過將方箱121選為鑄鐵件,可保持方箱121的穩(wěn)定,從而向固 定夾13提供穩(wěn)定的導向。而通過將第一線軌122選為鋼材，可防止第一線軌122生銹，由 此，便于固定夾13沿著第一線軌122運動到特定位置。[0023]在本實施例中，所述固定夾13包括外固定塊131、設置于所述外固定塊131中的內(nèi) 固定塊132、以及連接外固定塊131與內(nèi)固定塊132的連接螺絲133。具體的，當利用固定 夾13固定晶棒2時，將晶棒2置于內(nèi)固定塊132中，利用連接螺絲133將晶棒2固定于內(nèi) 固定塊132中，同時緊固內(nèi)固定塊132與外固定塊131。由此，避免了連接螺絲133與晶棒 2的直接接觸，從而避免了固定晶棒2時對晶棒2造成任何損傷，進而提聞了晶棒粘接的可靠性。優(yōu)選的，所述連接螺絲133為內(nèi)六角沉頭螺絲。[0024]進一步的，所述固定夾13還包括連接外固定塊131與內(nèi)固定塊132的微分頭134。 通過所述微分頭134能夠調(diào)整所述晶棒2的晶面，由此，使得粘接后的晶棒晶面一致，從而 提高晶棒粘接的可靠性。具體的，將晶棒2置于內(nèi)固定塊132中，通過連接螺絲133固定晶 棒2之后，再通過微分頭134對晶棒2的晶面進行一定的調(diào)整，由此，可以得到符合需要的 晶棒晶面設置。[0025]在此，先通過連接螺絲133對晶棒2進行固定，再利用微分頭134對晶棒2進行調(diào) 整，由此可以對晶棒2進行精細化調(diào)整，從而提聞晶棒粘接精度及可罪性。特別的，防止對 晶棒晶面調(diào)整的過程中，晶棒2發(fā)生較大位置的滑動/變動等，由此提高了對于晶棒晶面調(diào) 整的可靠性。[0026]進一步的，所述晶棒粘接裝置I還包括設置于所述平臺10上的限位螺桿14，所述 固定夾13運動到一定位置后，固定于所述限位螺桿14上。由此，實現(xiàn)對于固定夾13有效、 可靠地固定。在此，固定夾13夾持著晶圓2，當固定夾13運動到一定位置時，也即晶圓2運 動到一定位置；而通過限位螺桿14將固定夾13限定在特定位置時，也即將晶圓2限定在特 定位置。在晶圓2位置被限定/固定后，便可通過粘接臺11對晶圓進行粘接。[0027]進一步的，所述晶棒粘接裝置I還包括限位螺母15，具體的，所述固定夾13通過所 述限位螺母15固定于所述限位螺桿14上。由此，可方便的實現(xiàn)固定夾13固定于特定位置 的目的，其中，固定夾13運動到特定位置的目的是為了便于晶棒粘接，通常的，所述特定位 置指兩個晶棒晶面相貼合。此外，對于第一個固定夾13(具體的，在晶棒粘接過程中第一個 被使用的固定夾13)而言，其可以直接運動至平臺10表面，當然，其也可以與平臺10表面 具有一定距離，本申請對此并不做限定。優(yōu)選的，第一個固定夾13運動至平臺10表面，由 此可通過平臺10對于第一個固定夾13起到一定支持作用，從而使得晶棒的粘接更可靠。[0028]在本實施例中，所述晶棒粘接裝置I還包括設置于平臺10上的第二線軌16，所述 粘接臺11或者所述導向臺12能夠沿著所述第二線軌16運動。在此,通過所述粘接臺11 或者導向臺12沿著第二線軌16運動，可以使得所述粘接臺11與固定夾13貼近，從而便于 粘接臺11向固定夾13中固定的晶棒2提供粘接劑，進而使得各(短)晶棒2粘接成符合長 度要求的晶棒。優(yōu)選的，通過所述導向臺12沿著第二線軌16運動，從而使得所述粘接臺11 與固定夾13貼近。[0029]相應的，本實施例還提供一種利用上述晶棒粘接裝置I進行晶棒粘接的方法。具 體的，所述晶棒粘接方法包括[0030]利用多個固定夾13固定多根晶棒2，其中，每個固定夾13固定一根晶棒2 ；[0031]每個固定夾13沿著導向臺12運動到一定位置后停止，具體的，固定夾13通過限 位螺母15固定于限位螺桿14上，從而實現(xiàn)固定夾13運動到一定位置后停止并靜止于該位 置；[0032]粘接臺11粘接多個固定夾13中的多根晶棒2，具體的，先使得粘接臺11或者導向 臺12沿著第二線軌16運動,從而粘接臺11與晶棒2貼合。[0033]在此，所述固定夾13的數(shù)量為三個，當進行晶棒粘接時，可先使得三個固定夾13 固定三根晶棒2，接著，每個固定夾13沿著導向臺12運動到一定位置后停止；也可以一個 固定夾13固定一根晶棒2之后，該固定夾13沿著導向臺12運動到一定位置后停止，接著第二個固定夾13固定第二根晶棒2，該第二個固定夾13沿著導向臺12運動到一定位置后 停止，直至第三個固定夾13完成上述動作。其最終目的/本質(zhì)動作均是利用多個固定夾 13固定多根晶棒2，其中，每個固定夾13固定一根晶棒2 ;每個固定夾13沿著導向臺12運 動到一定位置后停止。[0034]具體的，每個固定夾13沿著導向臺12中的第一線軌122運動；利用多個固定夾 13固定多根晶棒2時包括將晶棒2置于內(nèi)固定塊132中；利用連接螺絲133將晶棒2固 定于內(nèi)固定塊132中，同時緊固內(nèi)固定塊132與外固定塊131 ;及利用微分頭134調(diào)整內(nèi)固 定塊132的角度，以調(diào)整晶棒2的角度，即調(diào)整晶棒2的晶面。[0035]綜上，通過晶棒粘接裝置，利用多個固定夾固定多根晶棒，其中，每個固定夾固定 一根晶棒；每個固定夾沿著導向臺運動到一定位置后停止；粘接臺粘接多個固定夾中的多 根晶棒，由此，可方便地實現(xiàn)晶棒粘接，即簡化了晶棒粘接工藝，提聞了晶棒粘接效率，從而 降低生產(chǎn)成本。[0036]上述描述僅是對本實用新型較佳實施例的描述，并非對本實用新型范圍的任何限 定，本實用新型領域的普通技術人員根據(jù)上述揭示內(nèi)容做的任何變更、修飾，均屬于權利要 求書的保護范圍。
權利要求1.一種晶棒粘接裝置，其特征在于，包括平臺；設置于所述平臺上的粘接臺；設置于所述平臺上的導向臺；以及多個固定所述晶棒的固定夾，所述多個固定夾能夠沿著導向臺運動。
2.如權利要求1所述的晶棒粘接裝置，其特征在于，所述導向臺包括方箱及固定于所述方箱上的第一線軌。
3.如權利要求1所述的晶棒粘接裝置，其特征在于，所述固定夾包括外固定塊、設置于所述外固定塊中的內(nèi)固定塊、以及連接外固定塊與內(nèi)固定塊的連接螺絲。
4.如權利要求3所述的晶棒粘接裝置，其特征在于，所述連接螺絲為內(nèi)六角沉頭螺絲。
5.如權利要求3所述的晶棒粘接裝置，其特征在于，所述固定夾還包括連接外固定塊與內(nèi)固定塊的微分頭。
6.如權利要求1所述的晶棒粘接裝置，其特征在于，還包括設置于所述平臺上的限位螺桿，所述固定夾運動到一定位置后，固定于所述限位螺桿上。
7.如權利要求6所述的晶棒粘接裝置，其特征在于，還包括限位螺母，所述固定夾通過所述限位螺母固定于所述限位螺桿上。
8.如權利要求1所述的晶棒粘接裝置，其特征在于，還包括設置于平臺上的第二線軌， 所述粘接臺或者所述導向臺能夠沿著所述第二線軌運動。
專利摘要本實用新型提供了一種晶體加工過程晶棒粘接裝置，所述晶棒粘接裝置包括平臺；設置于所述平臺上的粘接臺；設置于所述平臺上的導向臺；以及多個固定夾，所述多個固定夾能夠沿著導向臺運動。在此，利用多個固定夾固定多根晶棒，其中，每個固定夾固定一根晶棒；每個固定夾沿著導向臺運動到一定位置后停止；粘接臺粘接多個固定夾中的多根晶棒，由此，可方便地實現(xiàn)多根晶棒的粘接，即簡化了晶棒粘接工藝，提高了對晶體加工中晶向要求的準確性以及晶棒粘接效率，從而降低生產(chǎn)成本。
文檔編號B28D7/00GK202826112SQ20122053974
公開日2013年3月27日 申請日期2012年10月19日 優(yōu)先權日2012年10月19日
發(fā)明者于新現(xiàn), 李斗, 張 杰 申請人:西安神光安瑞光電科技有限公司