技術編號：1555462
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明關于半導體基板清潔的方法及設備，且更明確而言，是關于基板清 潔中所用的噴涂器(jet sprays)。背景技術基板清潔是半導體器件制造過程的重要步驟。若基板未經(jīng)適當清潔，基板 上形成的一或多個器件可能會遭受損壞。因此，半導體器件的良率會因未適當 清潔而有不良影響。故業(yè)界亟需要能可靠且有效率地在半導體器件制造期間清 潔基板的改良方法。發(fā)明內(nèi)容于本發(fā)明一些實施方面中提供清潔基板的方法，包括調(diào)整噴嘴的操作參數(shù) 以產(chǎn)生均勻的流體噴霧圖案；以及利用該均勻的流體...
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