技術(shù)編號(hào)：1538254
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本實(shí)用新型涉及清洗供氣管領(lǐng)域，尤其涉及一種供氣系統(tǒng)。背景技術(shù)供氣系統(tǒng)的設(shè)備部件主要有Tank (儲(chǔ)罐)、供氣管路、Gas Window (氣體窗口)、力口熱系統(tǒng)以及一系列閥門構(gòu)成。供氣過程為六羰基鎢(W(CO)6)粉，簡(jiǎn)稱鎢粉，儲(chǔ)存在Tank內(nèi)部，外置的加熱系統(tǒng)給Tank加熱，使固態(tài)鎢粉氣化，通過氬(Ar)氣流將氣化的鎢粉沿供氣管路輸送到Gas Window內(nèi)。在正常情況下，供氣管路依靠外置加熱系統(tǒng)將溫度維持在規(guī)定的范圍內(nèi)，使得固態(tài)鎢粉氣化后可正常輸送到G...
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