專利名稱：一種供氣系統(tǒng)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型涉及清洗供氣管領(lǐng)域，尤其涉及一種供氣系統(tǒng)。
背景技術(shù)：
供氣系統(tǒng)的設(shè)備部件主要有Tank (儲罐)、供氣管路、Gas Window (氣體窗口)、力口熱系統(tǒng)以及一系列閥門構(gòu)成。供氣過程為六羰基鎢(W(CO)6)粉，簡稱鎢粉，儲存在Tank內(nèi)部，外置的加熱系統(tǒng)給Tank加熱，使固態(tài)鎢粉氣化，通過氬(Ar)氣流將氣化的鎢粉沿供氣管路輸送到Gas Window內(nèi)。在正常情況下，供氣管路依靠外置加熱系統(tǒng)將溫度維持在規(guī)定的范圍內(nèi)，使得固態(tài)鎢粉氣化后可正常輸送到Gas Window內(nèi)。但出現(xiàn)死機或加熱系統(tǒng)異常造成供氣管路溫度下降至超出規(guī)定溫度，氣態(tài)鎢粉結(jié)·晶附著在管內(nèi)壁上，造成阻塞，影響鎢粉流量。在現(xiàn)有技術(shù)中，利用普通氣壓的氬氣進行清洗，即利用氬氣將結(jié)晶的鎢粉從管內(nèi)壁上吹下，并排除管外。但是鎢粉結(jié)晶體的致密性較強，采用上述方法很難將管內(nèi)壁上的鎢粉結(jié)晶體清洗完全。

實用新型內(nèi)容本實用新型的實施例提供一種供氣系統(tǒng)，用以解決供氣管路難以清洗的問題。為解決上述問題，本實用新型的實施例采用如下技術(shù)方案一種供氣系統(tǒng)，包括儲罐，供氣管路，氣體窗口 ；其中，所述供氣管路包括至少一節(jié)供氣管；分別設(shè)置在所述供氣管的兩端的電磁轉(zhuǎn)換裝置；為所述電磁轉(zhuǎn)換裝置供電的電源；以及設(shè)置在所述供氣管中的彈簧構(gòu)件。本實用新型實施例提供了一種供氣系統(tǒng)，在供氣管的兩端分別設(shè)置電磁轉(zhuǎn)換裝置，在供氣管內(nèi)設(shè)置有彈簧構(gòu)件，打開電磁轉(zhuǎn)換裝置，并通入電源，電磁轉(zhuǎn)換裝置帶動彈簧移動可以清理管壁上的鎢粉，同時彈簧自有一定的震動使得黏附在彈簧上的鎢粉震動掉，通入氬氣吹出供氣管，這樣能更容易的清洗供氣管，并將供氣管清洗的更干凈，從而解決了供氣管路難以清洗的問題。

為了更清楚地說明本實用新型實施例或現(xiàn)有技術(shù)中的技術(shù)方案，下面將對實施例或現(xiàn)有技術(shù)描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本實用新型的一些實施例，對于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來講，在不付出創(chuàng)造性勞動的前提下，還可以根據(jù)這些附圖獲得其他的附圖。圖I為本實用新型實施例提供的一種供氣系統(tǒng)的示意圖；圖2為圖I所示的供氣管內(nèi)部示意圖；圖3為本實用新型實施例提供的一種彈簧裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；圖4為本實用新型實施例提供的一種彈簧裝置的示意圖；圖5為本實用新型實施例提供的另一種彈簧裝置的示意圖；[0014]附圖標記儲罐-101，供氣管-102，氣體窗口 -103，電磁轉(zhuǎn)換裝置-104，彈簧構(gòu)件-105，彈簧-106,可被磁化的環(huán)-107。
具體實施方式
下面將結(jié)合本實用新型實施例中的附圖，對本實用新型實施例中的技術(shù)方案進行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實施例僅僅是本實用新型一部分實施例，而不是全部的實施例?；诒緦嵱眯滦椭械膶嵤├绢I(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒有做出創(chuàng)造性勞動前提下所獲得的所有其他實施例，都屬于本實用新型保護的范圍。本實用新型實施例提供了一種供氣系統(tǒng)，如圖I所示，包括儲罐101，供氣管路， 其中，所述供氣管路102包括至少一節(jié)供氣管，氣體窗103，分別設(shè)置在所述供氣管的兩端的電磁轉(zhuǎn)換裝置104，為電磁轉(zhuǎn)換裝置供電的電源，以及設(shè)置在所述供氣管中的彈簧構(gòu)件105。具體的，儲罐101中存儲了鎢粉，儲罐101的出口端、氬氣供氣裝置(圖中未標識)與該供氣管102入口端連接。供氣管路至少包含一節(jié)供氣管102，且供氣管102內(nèi)設(shè)置有彈簧構(gòu)件105。當進行供氣管102內(nèi)壁的鎢粉清理時，切斷儲罐101與供氣管102入口的連接，氬氣供氣裝置與該供氣管102入口連接以提供清洗氣體，將電磁轉(zhuǎn)換裝置104通電后，電磁轉(zhuǎn)換裝置104產(chǎn)生磁力，彈簧構(gòu)件105在磁力的作用下自身產(chǎn)生一定幅度的震動并產(chǎn)生一定的位移，彈簧構(gòu)件105自身產(chǎn)生的一定幅度的震動會使黏附在彈簧構(gòu)件上的鎢粉結(jié)晶體震動掉，彈簧構(gòu)件105與供氣管102接觸面的位移可以清洗與彈簧構(gòu)件接觸的供氣管壁上黏附的鎢粉結(jié)晶體，在通過氬氣將鎢粉結(jié)晶體吹出供氣管。需要說明的是，在本發(fā)明中為了方便敘述將供氣管路以拐點為界劃分為至少一節(jié)供氣管；例如，若供氣管路中沒有拐點，則該供氣管路就稱為一節(jié)供氣管；若供氣管路中有一個拐點，則該供氣管路就包含兩節(jié)供氣管?；诂F(xiàn)有技術(shù)的供氣管路的設(shè)計，上述電磁轉(zhuǎn)換裝置可以設(shè)置在上述任意一節(jié)供氣管內(nèi)。具體應用中，可以是設(shè)備正常工作時，儲罐中存儲的是鎢粉，設(shè)備異常或需要清洗時，儲罐中存儲的是氬氣。進一步的，如圖2所示，彈簧構(gòu)件105可以包括彈簧106，與彈簧106—端連接的可被磁化的環(huán)107。具體的，彈簧106 —端連接可被磁化的環(huán)107，另一端連接供氣管102。彈簧106在磁力的作用下的伸縮運動可以清洗與彈簧106接收的供氣管102 —端管壁上黏附的鎢粉。彈簧106 —端連接可被磁化的環(huán)107，另一端連接供氣管102，這樣可以使彈簧106固定在供氣管102內(nèi)，避免了設(shè)備正常工作時，彈簧106的運動對供氣系統(tǒng)造成負面影響。彈簧106與可被磁化的環(huán)107的連接為可拆卸連接，這樣便于部件的更換。優(yōu)選的，可被磁化的環(huán)107為鐵環(huán)。優(yōu)選的，彈簧構(gòu)件105，如圖3所示，具體包括彈簧106，與彈簧106兩端連接的可被磁化的環(huán)107。具體的，電磁轉(zhuǎn)換裝置104通電后，產(chǎn)生磁力，彈簧106兩端連接的可被磁化的環(huán)107在磁力的作用下，帶動彈簧106做拉伸運動，可以清洗與彈簧106接收的供氣管102管壁上黏附的鎢粉。彈簧106兩端連接可被磁化的環(huán)107還可以使彈簧106固定在供氣管102內(nèi)，避免了設(shè)備正常工作時，彈簧106的運動對供氣系統(tǒng)造成負面影響。彈簧106與可被磁化的環(huán)107的連接為可拆卸連接，也就是說，可被磁化的環(huán)107可以從彈簧106上拆卸下來，這樣便于部件的更換。進一步優(yōu)選的，可被磁化的環(huán)107為鐵環(huán)。供氣管102兩端的電磁轉(zhuǎn)換裝置104可以同時通入電壓，如圖4所示，使得供氣管102兩端的電磁轉(zhuǎn)換裝置104同時產(chǎn)生磁力，吸引供氣管102內(nèi)的彈簧構(gòu)件105向兩邊拉長，從而實現(xiàn)清洗供氣管。也可以設(shè)置供氣管102兩端的電磁轉(zhuǎn)換裝置104通入電壓有一定的延遲，如圖5所示，將供氣管102 —端的電磁轉(zhuǎn)換裝置104通電，例如將A端的電磁轉(zhuǎn)換裝置通入電壓，這樣可以使得供氣管102內(nèi)部的彈簧構(gòu)件105的A端的可被磁化的環(huán)107在磁力的作用下，帶動彈簧106拉伸運動；供氣管102的另一端的電磁轉(zhuǎn)換裝置104暫不通電，例如B端的電磁轉(zhuǎn)換裝置104未通電，則B端的可被磁化的環(huán)107卡在管壁上；下一時刻B端電磁轉(zhuǎn)換裝置通入電壓時，B端的可被磁化的環(huán)107在在磁力的作用下，帶動彈簧106運動，A端的可被磁化的環(huán)107卡在管壁上，從而實現(xiàn)清洗供氣管路的目的。進一步的，每相鄰兩節(jié)供氣管由電磁轉(zhuǎn)換裝置104連接。具體的，基于現(xiàn)有技術(shù)的供氣管路的設(shè)計，電磁轉(zhuǎn)換裝置104可以設(shè)置在供氣管102內(nèi)。但本實用新型優(yōu)選的，摒棄現(xiàn)有技術(shù)中在供氣管路的每一拐點處依靠連接管連接每相鄰兩節(jié)供氣管102的設(shè)計，而在供氣管路的每一拐點處依靠電磁轉(zhuǎn)換裝置104連接每相鄰兩節(jié)供氣管102，使得電磁轉(zhuǎn)換裝置104既起到驅(qū)動彈簧構(gòu)件105震動拉伸的作用，又起到現(xiàn)有技術(shù)中連接管的作用。更進一步的，為了便于維護，也便于部件更換上述每相鄰兩節(jié)供氣管102由電磁轉(zhuǎn)換裝置104可拆卸連接。另外，供氣系統(tǒng)包括加熱系統(tǒng)，控制模塊和反饋模塊。控制模塊用于負責控制供氣系統(tǒng)的各個部件。反饋模塊用于在控制模塊死機或加熱系統(tǒng)異常情況下觸發(fā)電磁轉(zhuǎn)換裝置10，或進一步觸發(fā)加熱系統(tǒng)。在控制模塊死機或加熱系統(tǒng)異常情況下，為了保護整個供氣管路中的供氣管102，避免出現(xiàn)氣體結(jié)晶附著在供氣管管壁上，設(shè)備會出現(xiàn)供氣系統(tǒng)報警，并向反饋模塊發(fā)送觸發(fā)指令，用于觸發(fā)反饋模塊觸發(fā)電磁轉(zhuǎn)換裝置104，或進一步觸發(fā)加熱系統(tǒng)。反饋模塊接收到觸發(fā)指令后，向電磁轉(zhuǎn)換裝置通入開啟信號，使得彈簧構(gòu)件震動、拉伸清除掉附著在供氣管管壁上的結(jié)晶體；當然反饋模塊還可以在向電磁轉(zhuǎn)換裝置通入電壓時，進一步發(fā)送指令觸發(fā)加熱系統(tǒng)，使得供氣管路中的結(jié)晶體升華，從而進一步實現(xiàn)對供氣管路的清洗，優(yōu)選的，所用的電源為不間斷電源UPS。需要說明的是，上述每一個電磁轉(zhuǎn)換裝置可以分別連接電源，實現(xiàn)對電磁轉(zhuǎn)換裝置的單獨控制；但在本實用新型中，優(yōu)選的，電磁轉(zhuǎn)換裝置104為并聯(lián)結(jié)構(gòu)。具體的，可以是在供氣系統(tǒng)中的所有電磁轉(zhuǎn)換裝置采用并聯(lián)的連接方式共用一個電源；當然還可以是在供氣系統(tǒng)中的至少兩個電磁轉(zhuǎn)換裝置采用并聯(lián)的連接方式，其他的電磁轉(zhuǎn)換裝置可以分別連接電源以實現(xiàn)單獨控制。電磁轉(zhuǎn)換裝置104為并聯(lián)結(jié)構(gòu)可以局部清洗供氣管路。若供氣管路的某部分供氣 管需要清洗，則將需要清洗的供氣管連接的電磁轉(zhuǎn)換裝置104通入電壓，使電磁轉(zhuǎn)換裝置104產(chǎn)生磁力，帶動供氣管102的彈簧106運動，清理管壁上的鎢粉，實現(xiàn)局部供氣管路清洗的目的。本實用新型實施例提供了一種供氣系統(tǒng)，在供氣管的兩端分別設(shè)置電磁轉(zhuǎn)換裝置，在供氣管內(nèi)設(shè)置有彈簧構(gòu)件，打開電磁轉(zhuǎn)換裝置，并通入電壓，電磁轉(zhuǎn)換裝置帶動彈簧移動可以清理管壁上的鎢粉，同時彈簧自有一定的震動使得黏附在彈簧上的鎢粉震動掉，通入氬氣將鎢粉結(jié)晶體吹出供氣管，這樣能更容易的清洗供氣管，并將供氣管清洗的更干凈，從而解決了供氣管路難以清洗的問題。以上所述，僅為本實用新型的具體實施方式
，但本實用新型的保護范圍并不局限于此，任何熟悉本技術(shù)領(lǐng)域的技術(shù)人員在本實用新型揭露的技術(shù)范圍內(nèi)，可輕易想到變化或替換，都應涵蓋在本實用新型的保護范圍之內(nèi)。因此，本實用新型的保護范圍應以所述權(quán)利要求的保護范圍為準。
權(quán)利要求1.一種供氣系統(tǒng)，包括儲罐，供氣管路，氣體窗口 ；其中，所述供氣管路包括至少一節(jié)供氣管；其特征在于，還包括 分別設(shè)置在所述供氣管的兩端的電磁轉(zhuǎn)換裝置； 為所述電磁轉(zhuǎn)換裝置供電的電源； 以及設(shè)置在所述供氣管中的彈簧構(gòu)件。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的供氣系統(tǒng)，其特征在于，所述彈簧構(gòu)件具體包括彈簧、所述彈簧兩端連接的可被磁化的環(huán)。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的供氣系統(tǒng)，其特征在于，所述彈簧與所述可被磁化的環(huán)的連接為可拆卸連接。
4.根據(jù)權(quán)利要求I所述的供氣系統(tǒng)，其特征在于，所述彈簧構(gòu)件具體包括彈簧、所述彈簧一端連接的可被磁化的環(huán)； 所述彈簧的另一端固定連接在所述供氣管的一端。
5.根據(jù)權(quán)利要求1-4任一項所述的供氣系統(tǒng)，其特征在于，每相鄰兩節(jié)供氣管由電磁轉(zhuǎn)換裝置連接。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的供氣系統(tǒng)，其特征在于，每相鄰兩節(jié)供氣管由電磁轉(zhuǎn)換裝置可拆卸連接。
7.根據(jù)權(quán)利要求1-4任一項所述的供氣系統(tǒng)，其特征在于，所述電源為不間斷電壓UPS。
8.根據(jù)權(quán)利要求I所述的供氣系統(tǒng)，其特征在于，還包括加熱系統(tǒng)，控制模塊，反饋模塊； 所述控制模塊用于控制供氣系統(tǒng)的各個部件； 所述反饋模塊用于在控制模塊死機或加熱系統(tǒng)異常情況下觸發(fā)所述電磁轉(zhuǎn)換裝置，或進一步觸發(fā)所述加熱系統(tǒng)。
9.根據(jù)權(quán)利要求I所述的供氣系統(tǒng)，其特征在于，所述電磁轉(zhuǎn)換裝置為并聯(lián)結(jié)構(gòu)。
專利摘要本實用新型公開了一種供氣系統(tǒng)，涉及液晶顯示面板的生產(chǎn)領(lǐng)域，用以解決供氣管路難以清洗的問題。所述系統(tǒng)包括儲罐，供氣管路，氣體窗口；其中，所述供氣管路包括至少一節(jié)供氣管；分別設(shè)置在所述供氣管的兩端的電磁轉(zhuǎn)換裝置；為所述電磁轉(zhuǎn)換裝置供電的電源；以及設(shè)置在所述供氣管中的彈簧構(gòu)件。本實用新型的方案適用于顯示面板或半導體器件的生產(chǎn)。
文檔編號B08B9/043GK202442109SQ201220069780
公開日2012年9月19日 申請日期2012年2月28日 優(yōu)先權(quán)日2012年2月28日
發(fā)明者劉國全, 滕飛, 田牛, 魏廣偉 申請人:京東方科技集團股份有限公司, 合肥京東方光電科技有限公司