技術(shù)編號(hào)：1512625
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及用于濕式處理(清洗、顯影、腐蝕、剝離處理等)半導(dǎo)體晶片、液晶顯示器或等離子顯示器等平板顯示器制造用的玻璃基板、印刷基板等板狀基板的基板處理裝置以及基板清洗設(shè)備。背景技術(shù) 近年來，隨著圖案的細(xì)微化和AL膜等柔軟的膜質(zhì)等膜的使用，要求采用對(duì)基板損傷少的清洗工具。作為對(duì)基板損傷少的清洗設(shè)備，采用了對(duì)基板高壓噴出清洗液進(jìn)行清洗的高壓清洗設(shè)備、將清洗液與空氣混合作為霧狀的混合流體對(duì)基板噴出進(jìn)行清洗的雙流體清洗設(shè)備、以及對(duì)基板噴出施加了超音波的清洗液進(jìn)行清洗...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。