技術(shù)編號(hào)：1465682
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本實(shí)用新型涉及一種超聲波清洗設(shè)備，包括依次設(shè)置的上料輸送裝置、超聲波清洗裝置、風(fēng)刀干燥裝置及下料輸送裝置，超聲波清洗裝置、風(fēng)刀干燥裝置、上料輸送裝置及下料輸送裝置的上方對(duì)應(yīng)設(shè)有機(jī)械臂動(dòng)作裝置，上料輸送裝置、超聲波清洗裝置、風(fēng)刀干燥裝置、下料輸送裝置及機(jī)械臂動(dòng)作裝置分別與電控柜控制連接。在電控柜的控制作用下，裝載有多晶硅片的料筐放置在輸送線上，經(jīng)過上料輸送裝置到指定位置，此時(shí)機(jī)械臂動(dòng)作裝置固持料筐依次經(jīng)過超聲波清洗裝置完成清洗工序及風(fēng)刀干燥裝置完成風(fēng)切干燥工...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。