技術(shù)編號：1434298
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。一種利用超聲波多被清洗的所述微通道板表面進(jìn)行清洗2~5分鐘；利用不活潑氣體Ar在高壓電場作用下產(chǎn)生的高速運(yùn)動的等離子體束流沖擊被清洗的所述微通道板表面，該方法綠色環(huán)保、無污染，清洗效果佳。專利說明[0001]本發(fā)明有關(guān)于半導(dǎo)體電子器件，特別是一種。背景技術(shù)[0002]20世紀(jì)70年代在單通道電子倍增器基礎(chǔ)上發(fā)展起來一種多通道電子倍增器MCP。微通道板具有結(jié)構(gòu)簡單、增益高、時(shí)間響應(yīng)快和空間成像等特點(diǎn)，因而得到廣泛應(yīng)。[0003]但在MCP的工藝制造過程中，不...
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