技術(shù)編號(hào)：1428070
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及清洗劑和玻璃基板的清洗方法。在不損害用含氧化鈰的研磨劑研磨后的玻璃基板的平坦性的情況下，將殘留、附著于表面上的研磨磨粒分散、除去。該清洗劑是用于對(duì)用含氧化鈰的研磨劑研磨后的玻璃基板進(jìn)行清洗的、包含(A)有機(jī)膦酸、(B)多元羧酸鹽、(C)芳族磺酸和(D)胺－環(huán)氧烷加成物的水系清洗劑。玻璃基板的清洗方法包括使用含有氧化鈰的研磨劑對(duì)玻璃基板進(jìn)行研磨的研磨工序，以及利用上述清洗劑對(duì)該研磨工序后的該玻璃基板進(jìn)行清洗的清洗工序。專利說(shuō)明[0001]本發(fā)明涉及...
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