技術(shù)編號：1414911
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種基片存放容器的干式清洗裝置，尤其涉及使用干冰粒子對基片存放容器的主體和蓋子分別進(jìn)行干式清洗的基片存放容器的干式清洗裝置。背景技術(shù) 通常，半導(dǎo)體裝置或顯示器裝置通過使用半導(dǎo)體晶片或平板顯示器(FPDflat panel display)基片經(jīng)過蒸鍍、蝕刻、光刻、離子注入等各種工藝而制造。為了順利進(jìn)行上述各種工藝半導(dǎo)體晶片或平板顯示器基片不僅在各組之間進(jìn)行移送，而且還在同一個(gè)組中的各制造裝置之間進(jìn)行移送。作為一例，基片可以通過自動搬運(yùn)車(truc...
注意：該技術(shù)已申請專利，請尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。