技術(shù)編號(hào)：1339570
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本實(shí)用新型涉及一種半導(dǎo)體加工領(lǐng)域，尤其涉及一種探針卡的清洗裝置背景技術(shù)探針卡是一種測(cè)試接口，主要對(duì)裸芯進(jìn)行測(cè)試，通過其連接測(cè)試機(jī)和芯片，從而傳輸信號(hào)，完成對(duì)芯片參數(shù)的測(cè)試。探針卡主要目的在于將探針卡上的探針直接與芯片上的焊墊或凸塊直接接觸，弓丨出芯片訊號(hào)，再配合周邊測(cè)試儀器與軟件控制達(dá)到自動(dòng)化量測(cè)的目的。探針卡應(yīng)用在IC尚未封裝前，針對(duì)裸晶使用探針做功能測(cè)試，篩選出不良品、再進(jìn)行之后的封裝工程。因此，它是IC制造中對(duì)制造成本影響相當(dāng)大的重要制程之一。探針卡...
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