專利名稱：探針卡清洗裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及一種半導(dǎo)體加工領(lǐng)域，尤其涉及一種探針卡的清洗裝置
背景技術(shù)：
探針卡是一種測(cè)試接口，主要對(duì)裸芯進(jìn)行測(cè)試，通過其連接測(cè)試機(jī)和芯片，從而傳輸信號(hào)，完成對(duì)芯片參數(shù)的測(cè)試。探針卡主要目的在于將探針卡上的探針直接與芯片上的焊墊或凸塊直接接觸，弓丨出芯片訊號(hào)，再配合周邊測(cè)試儀器與軟件控制達(dá)到自動(dòng)化量測(cè)的目的。探針卡應(yīng)用在IC尚未封裝前，針對(duì)裸晶使用探針做功能測(cè)試，篩選出不良品、再進(jìn)行之后的封裝工程。因此，它是IC制造中對(duì)制造成本影響相當(dāng)大的重要制程之一。探針卡在經(jīng)過多次使用后經(jīng)常受到污染而影響探針卡的使用效果，所以有必要對(duì)其進(jìn)行清洗處理。在現(xiàn)有技術(shù)中對(duì)探針卡的清洗主要是依靠人工來完成，利用100%純度的異丙醇溶液(IPA溶液)進(jìn)行處理，但是人工處理有可能會(huì)導(dǎo)致異丙醇溶液濺出進(jìn)入人的眼睛中傷害人眼，同時(shí)，由于探針尖的尺寸太小(小于5微米)，在人工清洗的過程中也很容易造成其被損壞。

實(shí)用新型內(nèi)容本實(shí)用新型要解決的技術(shù)問題是提供一種能夠?qū)μ结樋ㄟM(jìn)行自動(dòng)清洗的裝置。為了解決這一技術(shù)問題，本實(shí)用新型提供了一種探針卡清洗裝置，包括一個(gè)單側(cè)開口的容器和分別設(shè)于所述容器開口兩端的用于安裝所述探針卡的兩個(gè)支撐部，所述容器用于盛放清洗液，所述容器內(nèi)側(cè)壁上正對(duì)所述探針尖的位置設(shè)有超聲波發(fā)生器。所述探針卡清洗裝置還包括設(shè)于所述容器開口處的保護(hù)板，所述保護(hù)板中心設(shè)有供所述探針尖穿過的圓形洞。所述超聲波發(fā)生器數(shù)量為2個(gè)，兩個(gè)所述超聲波發(fā)生器相對(duì)設(shè)置。本實(shí)用新型提供的探針卡清洗裝置還包括一個(gè)清洗液回收系統(tǒng)，用于對(duì)本實(shí)用新型提供的探針卡清洗裝置進(jìn)行所述清洗液的回收，包括U型吸管和回收瓶，所述U型吸管包括兩側(cè)互相連通的管體，所述回收瓶的開口正對(duì)著所述U型吸管一側(cè)管體的開口處，且同側(cè)管體上還設(shè)有一個(gè)吸液球，所述U型吸管的另一側(cè)管體的開口供放置于所述清洗液中。所述U型吸管上還設(shè)有一個(gè)閥門，所述閥門位于所述吸液球的下方。所述回收瓶的開口處還設(shè)有一個(gè)過濾網(wǎng)。本實(shí)用新型通過設(shè)置一個(gè)放置清洗液的容器，同時(shí)在容器開口處設(shè)置支撐部實(shí)現(xiàn)對(duì)探針卡的固定，在所述容器內(nèi)設(shè)置超聲波發(fā)生器，配合容器中的清洗液實(shí)現(xiàn)對(duì)探針卡的清洗，從而避免了手工操作的危險(xiǎn)性和對(duì)探針尖的損傷，提供一種能夠?qū)μ结樋ㄟM(jìn)行自動(dòng)清洗的裝置。

[0013]圖1為探針卡的剖面結(jié)構(gòu)示意圖；圖2為本實(shí)用新型一實(shí)施例提供的探針卡清洗裝置的側(cè)面結(jié)構(gòu)示意圖；圖3為本實(shí)用新型一實(shí)施例提供的探針卡清洗裝置的使用時(shí)結(jié)構(gòu)示意圖；圖4為本實(shí)用新型一實(shí)施例提供的清洗液回收系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)示意圖；圖中，100 —異丙醇溶液；101—探針卡；102 —探針尖；103 —圓孔；201—容器；202—支撐部；203—保護(hù)板；204—超聲波發(fā)生器；205—圓形洞；301—U型吸管；302—吸液球；303—閥門；304—回收瓶；305—過濾網(wǎng)。
具體實(shí)施方式
以下將結(jié)合圖1至圖4對(duì)本實(shí)用新型提供的探針卡清洗裝置和供其使用的清洗液回收系統(tǒng)進(jìn)行詳細(xì)的描述，可以認(rèn)為本領(lǐng)域的技術(shù)人員可以根據(jù)公知的常識(shí)在本實(shí)用新型的精神和內(nèi)容的范圍內(nèi)對(duì)其進(jìn)行修改和潤(rùn)色。請(qǐng)參考圖2和圖3并結(jié)合圖1，本實(shí)施例提供了一種探針卡清洗裝置，包括一個(gè)單側(cè)開口的容器201和分別設(shè)于所述容器201開口兩端的用于安裝所述探針卡的兩個(gè)支撐部202，所述支撐部202的位置與尺寸均與所述探針卡的邊緣的圓孔103相匹配，用以固定所述探針卡的位置，所述容器201用于盛放清洗液(在本實(shí)施例中，為異丙醇溶液100)，所述容器201內(nèi)側(cè)壁上正對(duì)所述探針尖102的位置設(shè)有超聲波發(fā)生器204。本實(shí)施例通過設(shè)置一個(gè)放置異丙醇溶液100的容器201，同時(shí)在容器201開口處設(shè)置支撐部202實(shí)現(xiàn)對(duì)探針卡101的固定，在所述容器201內(nèi)設(shè)置超聲波發(fā)生器204，配合容器中的異丙醇溶液100實(shí)現(xiàn)對(duì)探針卡的清洗所述探針卡清洗裝置還包括設(shè)于所述容器201開口處的保護(hù)板203，所述保護(hù)板203中心設(shè)有供所述探針尖102穿過的圓形洞205。保護(hù)板203的作用在于當(dāng)清洗的時(shí)候保護(hù)探針卡101的下表面的電路板不會(huì)受到異丙醇溶液100的污染。所述超聲波發(fā)生器204數(shù)量為2個(gè)，兩個(gè)所述超聲波發(fā)生器204相對(duì)設(shè)置。有利于對(duì)所述探針卡101的均勻清洗。在本實(shí)施例中，所述超聲波發(fā)生器204采用的強(qiáng)度為每平方厘米2瓦，并且通過實(shí)驗(yàn)可以知道若采用每平方厘米5瓦的話會(huì)損傷探針尖102。本實(shí)施例提供的探針卡清洗裝置還包括一個(gè)清洗液回收系統(tǒng)，用于對(duì)所述清洗液(本實(shí)施例中，為異丙醇溶液100)的回收，包括U型吸管301和回收瓶304，所述U型吸管301包括兩側(cè)互相連通的管體，所述回收瓶304的開口正對(duì)著所述U型吸管301 —側(cè)管體的開口處，且同側(cè)管體上還設(shè)有一個(gè)吸液球302，所述U型吸管301的另一側(cè)管體的開口供放置于所述清洗液(本實(shí)施例中為異丙醇溶液100)中。擠壓吸液球302可以釋放吸管和吸液球302內(nèi)的空氣，從而將異丙醇溶液100吸入U(xiǎn)型吸管301內(nèi)，進(jìn)而流入回收瓶304進(jìn)行異丙醇溶液100的回收。所述U型吸管301上還設(shè)有一個(gè)閥門303，所述閥門303位于所述吸液球302的下方。所述回收瓶304的開口處還設(shè)有一個(gè)過濾網(wǎng)305。用以對(duì)回收來的異丙醇溶液100進(jìn)行過濾篩選。在使用本實(shí)施例提供的清洗液回收系統(tǒng)時(shí)，請(qǐng)參考圖4，將U型吸管301的左側(cè)管體的開口通過如圖2所示的圓形洞205插入異丙醇溶液中，擠壓吸液球302將異丙醇溶液100吸入U(xiǎn)型吸管301內(nèi)，從而將異丙醇溶液100吸入U(xiǎn)型吸管301內(nèi)，進(jìn)而流入回收瓶304進(jìn)行異丙醇溶液100的回收。采用本實(shí)施例提供的清洗液回收系統(tǒng)，可以有效避免異丙醇溶液100與外界的接觸，既保護(hù)了操作人員，又節(jié)約了工藝材料的消耗。
權(quán)利要求1.一種探針卡清洗裝置，用于對(duì)探針卡的探針尖進(jìn)行清洗，其特征在于:包括一個(gè)單側(cè)開口的容器和分別設(shè)于所述容器開口兩端的用于安裝所述探針卡的兩個(gè)支撐部，所述容器用于盛放清洗液，所述容器內(nèi)側(cè)壁上正對(duì)所述探針尖的位置設(shè)有超聲波發(fā)生器。
2.如權(quán)利要求1所述的探針卡清洗裝置，其特征在于:還包括設(shè)于所述容器開口處的保護(hù)板，所述保護(hù)板中心設(shè)有供所述探針尖穿過的圓形洞。
3.如權(quán)利要求1所述的探針卡清洗裝置，其特征在于:所述超聲波發(fā)生器數(shù)量為2個(gè)，兩個(gè)所述超聲波發(fā)生器相對(duì)設(shè)置。
4.如權(quán)利要求1所述的探針卡清洗裝置，其特征在于:還包括一個(gè)清洗液回收系統(tǒng)，所述清洗液回收系統(tǒng)包括U型吸管和回收瓶，所述U型吸管包括兩側(cè)互相連通的管體，所述回收瓶的開口正對(duì)著所述U型吸管一側(cè)管體的開口處，且同側(cè)管體上還設(shè)有一個(gè)吸液球，所述U型吸管的另一側(cè)管體的開口供放置于所述清洗液中。
5.如權(quán)利要求4所述的探針卡清洗裝置，其特征在于:所述U型吸管上還設(shè)有一個(gè)閥門，所述閥門位于所述吸液球的下方。
6.如權(quán)利要求4所述的探針卡清洗裝置，其特征在于:所述回收瓶的開口處還設(shè)有一個(gè)過濾網(wǎng)。
專利摘要本實(shí)用新型提供了一種探針卡清洗裝置，用于對(duì)探針卡的探針尖進(jìn)行清洗，包括一個(gè)單側(cè)開口的容器和分別設(shè)于所述容器開口兩端的用于安裝所述探針卡的兩個(gè)支撐部，所述容器用于盛放清洗液，所述容器內(nèi)側(cè)壁上正對(duì)所述探針尖的位置設(shè)有超聲波發(fā)生器。本實(shí)用新型通過設(shè)置一個(gè)放置清洗液的容器，同時(shí)在容器開口處設(shè)置支撐部實(shí)現(xiàn)對(duì)探針卡的固定，在所述容器內(nèi)設(shè)置超聲波發(fā)生器，配合容器中的清洗液實(shí)現(xiàn)對(duì)探針卡的清洗，從而避免了手工操作的危險(xiǎn)性和對(duì)探針尖的損傷，提供一種能夠?qū)μ结樋ㄟM(jìn)行自動(dòng)清洗的裝置。
文檔編號(hào)B08B13/00GK203044417SQ201220610658
公開日2013年7月10日 申請(qǐng)日期2012年11月16日 優(yōu)先權(quán)日2012年11月16日
發(fā)明者牛剛, 于建姝, 趙曉東, 劉冰冰, 陳育浩 申請(qǐng)人:中芯國(guó)際集成電路制造(北京)有限公司