技術編號：1332601
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。一種清潔工具 本實用新型涉及液晶面板生產，特別是一種用于清潔液晶面板生產設備的清潔工具。背景技術液晶面板生產技術中最為核心的部分是光刻工藝，而光刻工藝中最為重要的環(huán)節(jié)當屬曝光，它在很大程度上決定著產品的品質。在曝光過程中，玻璃基板承載臺(Plate Holder)上的微?？赡軙е玛嚵谢瀹a生各種Mura，甚至使產品產生各種不良而影響其品質。因此，現(xiàn)有技術中非常有必要定期或不定期對玻璃基板承載臺進行清潔。如圖I所示，為玻璃基板承載臺的截面示意圖，可以發(fā)現(xiàn)，...
注意：該技術已申請專利，請尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權人授權前，僅供技術研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術人員進行技術研發(fā)參考以及查看自身技術是否侵權，增加技術思路，做技術知識儲備，不適合論文引用。