專利名稱：一種清潔工具的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
一種清潔工具技術(shù)領(lǐng)域 本實(shí)用新型涉及液晶面板生產(chǎn)技術(shù)領(lǐng)域，特別是一種用于清潔液晶面板生產(chǎn)設(shè)備的清潔工具。
背景技術(shù)：
液晶面板生產(chǎn)技術(shù)中最為核心的部分是光刻工藝，而光刻工藝中最為重要的環(huán)節(jié)當(dāng)屬曝光，它在很大程度上決定著產(chǎn)品的品質(zhì)。在曝光過(guò)程中，玻璃基板承載臺(tái)(Plate Holder)上的微?？赡軙?huì)導(dǎo)致陣列基板產(chǎn)生各種Mura，甚至使產(chǎn)品產(chǎn)生各種不良而影響其品質(zhì)。因此，現(xiàn)有技術(shù)中非常有必要定期或不定期對(duì)玻璃基板承載臺(tái)進(jìn)行清潔。如圖I所示，為玻璃基板承載臺(tái)的截面示意圖，可以發(fā)現(xiàn)，該玻璃基板承載臺(tái)由表面具有深度較淺的微小突起、寬度較寬的吸附盤(Pin Chuck) 101，以及深度較深、寬度較窄的托架溝(Tray Ditch) 102組成，因此,現(xiàn)有的清潔設(shè)備無(wú)法同時(shí)對(duì)Pin Chuck 101和TrayDitch 102進(jìn)行清潔。而通常的清潔方式中，一般只對(duì)玻璃基板承載臺(tái)的Pin Chuck 101進(jìn)行清潔，而不對(duì)Tray Ditch 102進(jìn)行清潔。然而Tray Ditch 102中長(zhǎng)期積累的微粒可能會(huì)在Tray升降過(guò)程中產(chǎn)生的空氣擾動(dòng)作用下漂浮到Pin Chuck表面，使得Plate Holder清潔效果變差、效率降低，致使產(chǎn)品產(chǎn)生各種不良而影響其品質(zhì)。以上是以玻璃基板承載臺(tái)為例進(jìn)行的說(shuō)明，但應(yīng)當(dāng)理解的是，其他的場(chǎng)合也同樣存在上述的問(wèn)題，在此不--列舉。

實(shí)用新型內(nèi)容本實(shí)用新型的目的在于提供一種清潔工具，適用于一液晶面板生產(chǎn)設(shè)備的不同清潔部位，提高清潔效率。為實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型實(shí)施例公開了一種清潔工具，用于清潔液晶面板生產(chǎn)設(shè)備，包括握持部；用于固定清潔器的夾持部；所述夾持部的一端與所述握持部的第一端連接，所述夾持部的另一端具有相對(duì)距離可調(diào)的，能夠夾持并固定不同寬度的清潔器的兩個(gè)固定單元。上述的清潔工具，其中，所述握持部包括套接在一起，且能夠相對(duì)滑動(dòng)以調(diào)整所述握持部長(zhǎng)度的第一握持單元和第二握持單元。上述的清潔工具,其中,所述夾持部具體包括第一彈性竿體，第一端固定連接于所述握持部的第一端，第二端設(shè)置有所述兩個(gè)固定單元中的一個(gè)；第二彈性竿體，第一端固定連接于所述握持部的第一端，第二端設(shè)置有所述兩個(gè)固定單元中的另一個(gè)；所述兩個(gè)固定單元相向設(shè)置。上述的清潔工具，其中，所述清潔工具還包括用于調(diào)整所述第一彈性竿體和第二彈性竿體之間的夾角的調(diào)整部，設(shè)置于所述握持部的第一端。上述的清潔工具，其中，所述液晶面板生產(chǎn)設(shè)備為曝光機(jī)，所述不同寬度的清潔器為用于清潔所述曝光機(jī)的玻璃基板承載臺(tái)的Pin Chuck的第一清潔器；或用于清潔所述曝光機(jī)的玻璃基板承載臺(tái)的Tray Ditch的第二清潔器；和用于同時(shí)清潔所述曝光機(jī)的玻璃基板承載臺(tái)的Pin Chuck和Tray Ditch的第三清潔器。本實(shí)用新型實(shí)施例至少具有以下有益效果本實(shí)用新型的清潔工具中，用于固定清潔器的夾持部的夾持端設(shè)置有相對(duì)距離可調(diào)的，能夠夾持并固定不同寬度的清潔器的兩個(gè)固定單元，因此，通過(guò)該固定單元可以?shī)A持并固定不同寬度的清潔器，實(shí)現(xiàn)對(duì)液晶面板生產(chǎn)設(shè)備不同清潔部位的清潔，提高了清潔效率。

圖I為玻璃基板承載臺(tái)的截面示意圖；圖2為本實(shí)用新型實(shí)施例的一種清潔工具的結(jié)構(gòu)示意圖；圖3a-圖3c為本實(shí)用新型實(shí)施例的清潔工具裝配不同尺寸的清潔器的示意圖；圖4a_圖4c為本實(shí)用新型實(shí)施例的清潔工具設(shè)置有調(diào)整部時(shí)裝備不同尺寸的清潔器的示意圖；圖5為本實(shí)用新型實(shí)施例的另一種清潔工具的示意圖。
具體實(shí)施方式
本實(shí)用新型的清潔工具中，通過(guò)在固定清潔器的夾持部的夾持端設(shè)置有相對(duì)距離可調(diào)的，能夠夾持并固定不同寬度的清潔器的兩個(gè)固定單元，通過(guò)調(diào)整固定單元之間的寬度，實(shí)現(xiàn)對(duì)不同寬度的清潔器的夾持和固定，實(shí)現(xiàn)了對(duì)同一液晶面板生產(chǎn)設(shè)備的不同清潔部位的清潔，提高了清潔效率。本實(shí)用新型實(shí)施例的一種清潔工具，用于清潔液晶面板生產(chǎn)設(shè)備，如圖2所示，包括握持部201 ；用于固定清潔器的夾持部202 ；所述夾持部202的一端與所述握持部201的第一端連接，所述夾持部202的另一端具有相對(duì)距離可調(diào)的，能夠夾持并固定不同寬度的清潔器的兩個(gè)固定單元2021。本實(shí)用新型的清潔工具中，用于固定清潔器的夾持部的夾持端設(shè)置有相對(duì)距離可調(diào)的，能夠夾持并固定不同寬度的清潔器的兩個(gè)固定單元，因此，通過(guò)該固定單元可以?shī)A持并固定不同寬度的清潔器，實(shí)現(xiàn)對(duì)液晶面板生產(chǎn)設(shè)備的不同清潔部位的清潔，提高了清潔效率。下面以圖I所示的情況為例對(duì)本實(shí)用新型實(shí)施例的清潔工具進(jìn)行詳細(xì)說(shuō)明。針對(duì)圖I所示的曝光機(jī)，本實(shí)用新型實(shí)施例中，清潔器可以是為用于清潔所述曝光機(jī)的玻璃基板承載臺(tái)的Pin Chuck的第一清潔器；用于清潔所述曝光機(jī)的玻璃基板承載臺(tái)的Tray Ditch的第二清潔器；或用于同時(shí)清潔所述曝光機(jī)的玻璃基板承載臺(tái)的Pin Chuck和Tray Ditch的第三清潔器。 當(dāng)清潔所述曝光機(jī)的玻璃基板承載臺(tái)的Pin Chuck時(shí),如圖3a所示,在本實(shí)用新型的夾持部夾持具有第一尺寸的第一清潔器3011 ;該第一清潔器3011的寬度與Pin Chuck的覽度適應(yīng)。當(dāng)清潔所述曝光機(jī)的玻璃基板承載臺(tái)的Tray Ditch時(shí),如圖3b所示,在本實(shí)用新型的夾持部夾持具有第二尺寸的第二清潔器3012，其中該第二清潔器3012寬度較窄，但由于要深入到Tray Ditch中進(jìn)行清潔,其高度相對(duì)較大。當(dāng)需要同時(shí)清潔所述曝光機(jī)的玻璃基板承載臺(tái)的Pin Chuck和Tray Ditch時(shí),如圖3c所示，在本實(shí)用新型的夾持部夾持具有第三尺寸的第三清潔器3013，其中該第二清潔器3013包括兩部分，用于清潔Tray Ditch的寬度較窄，而高度相對(duì)較大的中間部分，以及分布于中間部分的兩側(cè)，用于清潔Tray Ditch兩側(cè)的Pin Chuck的部分。通過(guò)以上的描述可以發(fā)現(xiàn)，由于兩個(gè)固定單元的寬度可調(diào)，在清潔曝光機(jī)的玻璃基板承載臺(tái)的不同部位時(shí)，能夠依據(jù)清潔器的尺寸調(diào)節(jié)固定單元之間的寬度以固定清潔器，因此，實(shí)現(xiàn)對(duì)曝光機(jī)的不同清潔部位的清潔，提高了清潔效率。當(dāng)然上述是以曝光機(jī)的清潔為例進(jìn)行的說(shuō)明，但應(yīng)當(dāng)理解的是其同樣適用于其他液晶面板生產(chǎn)設(shè)備的清潔，其區(qū)別僅在于清潔器的形狀差異，其他部分并沒(méi)有區(qū)別，在此不一一舉例說(shuō)明。從圖2、3a、3b以及3c可以發(fā)現(xiàn)，本實(shí)用新型實(shí)施例中，該夾持部包括第一彈性竿體2022，第一端固定連接于所述握持部201的第一端，第二端設(shè)置有所述兩個(gè)固定單元中的一個(gè)；第二彈性竿體2023，第一端固定連接于所述握持部201的第一端，第二端設(shè)置有所述兩個(gè)固定單元中的另一個(gè)；所述兩個(gè)固定單元相向設(shè)置。在本實(shí)用新型的具體實(shí)施例中，可以通過(guò)第一彈性竿體2022和第二彈性竿體2023的彈性來(lái)掰開第一彈性竿體2022和第二彈性竿體2023，控制第一彈性竿體2022和第二彈性竿體2023之間的寬度，并將兩個(gè)固定單元抵住清潔器的兩個(gè)夾持面，并通過(guò)第一彈性竿體2022和第二彈性竿體2023指向清潔器的夾持面的作用力固定清潔器。但上述的方式需要第一彈性竿體2022和第二彈性竿體2023具有較大的彈性力，才能穩(wěn)固地夾持清潔器。而在另一種方式中，可以通過(guò)在清潔器的夾持面上設(shè)置固定單元的容納孔，在第一彈性竿體2022和第二彈性竿體2023的彈性力作用下將固定單元推到容納孔，通過(guò)固定單元和容納孔配合來(lái)固定清潔器，使之不會(huì)掉落。當(dāng)然，將清潔器固定到固定單元的方式多種多樣，在此不一一列舉。[0055]前面提到，可以通過(guò)第一彈性竿體2022和第二彈性竿體2023的彈性來(lái)掰開第一彈性竿體2022和第二彈性竿體2023，控制第一彈性竿體2022和第二彈性竿體2023之間的覽度。但是當(dāng)不同清潔器的寬度差距過(guò)大時(shí)，則有可能會(huì)掰壞第一彈性竿體2022和第二彈性竿體2023。在本實(shí)用新型的具體實(shí)施例中，該第一彈性竿體和第二彈性竿體的彈性也可以較小，而通過(guò)其他的輔助設(shè)備來(lái)使得第一彈性竿體2022和第二彈性竿體2023能夠?qū)⒐潭▎卧挚康角鍧嵠鞯膴A持面。如圖4a所示,所述清潔工具還包括用于調(diào)整所述第一彈性竿體和第二彈性竿體之間的夾角的調(diào)整部401，設(shè)置于所 述握持部201的第一端。該調(diào)整部401通過(guò)調(diào)整在握持部201的位置來(lái)調(diào)整第一彈性竿體和第二彈性竿體之間的夾角。如圖4b和4c所示，當(dāng)更換尺寸不同的清潔器時(shí)，通過(guò)調(diào)整調(diào)整部401的位置，使得其能夠向第一彈性竿體和第二彈性竿體施加作用力，該作用力通過(guò)第一彈性竿體和第二彈性竿體傳導(dǎo)到固定單元，將固定單元抵靠到清潔器的夾持面?？紤]到不同設(shè)備的尺寸，在本實(shí)用新型的具體實(shí)施例中，所述握持部包括套接在一起，且能夠相對(duì)滑動(dòng)以調(diào)整所述握持部長(zhǎng)度的第一握持單元和第二握持單元。該握持部可以通過(guò)多種方式實(shí)現(xiàn)，下面對(duì)其中的幾種簡(jiǎn)單說(shuō)明如下。I、第一握持單元和第二握持單元之間通過(guò)內(nèi)螺紋和外螺紋配合，通過(guò)旋轉(zhuǎn)可以調(diào)整握持部長(zhǎng)度。2、在第一握持單元上設(shè)置一固定螺釘，第二握持單元套接在第一握持單元的內(nèi)部，當(dāng)需要調(diào)整長(zhǎng)度時(shí)，松開螺釘，將第二握持單元向外抽出或向內(nèi)推進(jìn)來(lái)調(diào)整握持部的長(zhǎng)度，當(dāng)長(zhǎng)度合適時(shí)重新固定螺釘。當(dāng)然，以上僅僅是舉例說(shuō)明，本實(shí)用新型實(shí)施例并不局限于上述的實(shí)現(xiàn)方式。在上述的實(shí)現(xiàn)方式中，是通過(guò)彈性竿體來(lái)實(shí)現(xiàn)固定單元之間的寬度調(diào)節(jié)，但本實(shí)用新型實(shí)施例并不局限于此，下面對(duì)另一種可能的實(shí)現(xiàn)方式說(shuō)明如下。如圖5所示，該夾持部包括一框架501，該框架固定連接到握持部的一端；設(shè)置于框架內(nèi)部的導(dǎo)軌502 ;設(shè)置于所述導(dǎo)軌502上，可在所述導(dǎo)軌502上滑動(dòng)，能夠配合夾持部模組的第一滑塊503和第二滑塊504。如圖5所示，當(dāng)需要裝配清潔器時(shí)，將清潔器置于第一滑塊503和第二滑塊504之間，然后根據(jù)清潔器的寬調(diào)整第一滑塊503和第二滑塊504的位置，使得第一滑塊503和第二滑塊504貼緊清潔器的夾持面，第一滑塊503和第二滑塊504作為兩個(gè)固定單元夾持并固定清潔器。當(dāng)然，該夾持部還可以以其他結(jié)構(gòu)來(lái)實(shí)現(xiàn)，在此不--描述。下面對(duì)本實(shí)用新型實(shí)施例的清潔工具的工作過(guò)程詳細(xì)說(shuō)明如下。使用者打開存放清潔工具部件的工具箱，按照使用要求組裝清潔工具，并使用一定強(qiáng)度的燈光照射清潔器的表面，檢查清潔器表面是否有粘附微粒。若清潔器表面未發(fā)現(xiàn)微粒，則可直接用于玻璃基板承載臺(tái)的清潔；若清潔器表面存在微粒，則需使用無(wú)塵布蘸取適量去離子水、無(wú)水酒精或丙酮等試劑擦拭清潔器表面，以去除其表面的微粒。通過(guò)選用不同形式的清潔器對(duì)玻璃基板承載臺(tái)不同部位進(jìn)行清潔。若需要對(duì)Pin Chuck部分進(jìn)行清潔，則使用圖3a中所示的清潔器進(jìn)行；若需要對(duì)Tray Ditch部分進(jìn)行清潔，則使用圖3b中所示的清潔器進(jìn)行；若需要對(duì)整個(gè)玻璃基板承載臺(tái)進(jìn)行清潔，則使用圖3c中所示的清潔器進(jìn)行。在清潔過(guò)程中，盡量保證沿同一個(gè)方向單向進(jìn)行，以實(shí)現(xiàn)更高的清潔效率和更佳的清潔效果。清潔完成之后可使用一定強(qiáng)度的燈光照射清潔完成的玻璃基板承載臺(tái)表面，或照射使用過(guò)的清潔器表面，以判斷玻璃基板承載臺(tái)是否已清潔干凈。若玻璃基板承載臺(tái)表面或清潔器表面未發(fā)現(xiàn)明顯的微粒，則清潔過(guò)程結(jié)束；若發(fā)現(xiàn)仍存在微粒，則需使用無(wú)塵布蘸取適量去離子水、無(wú)水酒精或丙酮等試劑擦拭清潔器表面，去除其表面的微粒后繼續(xù)對(duì)玻璃基板承載臺(tái)進(jìn)行清潔。以上所述僅是本實(shí)用新型的實(shí)施方式，應(yīng)當(dāng)指出，對(duì)于本技術(shù)領(lǐng)域的普通技術(shù)人員來(lái)說(shuō)，在不脫離本實(shí)用新型原理的前提下，還可以作出若干改進(jìn)和潤(rùn)飾，這些改進(jìn)和潤(rùn)飾也應(yīng)視為本實(shí)用新型的保護(hù)范圍?！?br> 權(quán)利要求1.一種清潔工具，用于清潔液晶面板生產(chǎn)設(shè)備，其特征在于，包括 握持部; 用于固定清潔器的夾持部； 所述夾持部的一端與所述握持部的第一端連接，所述夾持部的另一端具有相對(duì)距離可調(diào)的，能夠夾持并固定不同寬度的清潔器的兩個(gè)固定單元。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的清潔工具，其特征在于，所述握持部包括套接在一起，且能夠相對(duì)滑動(dòng)以調(diào)整所述握持部長(zhǎng)度的第一握持單元和第二握持單元。
3.根據(jù)權(quán)利要求I所述的清潔工具，其特征在于，所述夾持部具體包括 第一彈性竿體，第一端固定連接于所述握持部的第一端，第二端設(shè)置有所述兩個(gè)固定單元中的一個(gè)； 第二彈性竿體，第一端固定連接于所述握持部的第一端，第二端設(shè)置有所述兩個(gè)固定單元中的另一個(gè)； 所述兩個(gè)固定單元相向設(shè)置。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的清潔工具，其特征在于，所述清潔工具還包括 用于調(diào)整所述第一彈性竿體和第二彈性竿體之間的夾角的調(diào)整部，設(shè)置于所述握持部的第一端。
5.根據(jù)權(quán)利要求I所述的清潔工具，其特征在于，所述液晶面板生產(chǎn)設(shè)備為曝光機(jī)，所述清潔器為 用于清潔所述曝光機(jī)的玻璃基板承載臺(tái)的吸附盤的第一清潔器；或 用于清潔所述曝光機(jī)的玻璃基板承載臺(tái)的托架溝的第二清潔器；或 用于同時(shí)清潔所述曝光機(jī)的玻璃基板承載臺(tái)的吸附盤和托架溝的第三清潔器。
專利摘要本實(shí)用新型公開了一種清潔工具，適用于一液晶面板生產(chǎn)設(shè)備的不同清潔部位，提高清潔效率。該清潔工具包括握持部；用于固定清潔器的夾持部；所述夾持部的一端與所述握持部的第一端連接，所述夾持部的另一端具有相對(duì)距離可調(diào)的，能夠夾持并固定不同寬度的清潔器的兩個(gè)固定單元。本實(shí)用新型的清潔工具中，用于固定清潔器的夾持部的夾持端設(shè)置有相對(duì)距離可調(diào)的，能夠夾持并固定不同寬度的清潔器的兩個(gè)固定單元，因此，通過(guò)該固定單元可以?shī)A持并固定不同寬度的清潔器，實(shí)現(xiàn)對(duì)液晶面板生產(chǎn)設(shè)備不同清潔部位的清潔，提高了清潔效率。
文檔編號(hào)B08B1/00GK202741355SQ20122042896
公開日2013年2月20日 申請(qǐng)日期2012年8月27日 優(yōu)先權(quán)日2012年8月27日
發(fā)明者羅麗平, 贠向南, 許朝欽, 金基用, 周子卿, 侯本光, 劉會(huì)雙 申請(qǐng)人:京東方科技集團(tuán)股份有限公司, 北京京東方顯示技術(shù)有限公司