技術(shù)編號：12916896
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明屬于壓電材料制備技術(shù)領(lǐng)域，具體地講，涉及一種壓電膜及其制備方法。背景技術(shù)壓電膜因其優(yōu)越的壓電、鐵電及機電耦合性能，而在微機械電子系統(tǒng)(MEMS)等領(lǐng)域得以廣泛的應(yīng)用。壓電膜一般包括壓電薄膜和壓電厚膜。壓電薄膜是指其厚度小于1μm的壓電膜；而壓電厚膜是介于壓電薄膜和毫米級的塊體材料之間的材料，其厚度一般為1μm～100μm。壓電厚膜目前在換能器、傳感器、MEMS微驅(qū)動器、微型馬達等諸多領(lǐng)域有著廣泛的應(yīng)用，這是由于由壓電厚膜制成的器件不僅兼顧了壓電薄膜的工作電壓低，使用頻率高，能與半導(dǎo)體集成電...
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