技術(shù)編號:12907395
提示:您尚未登錄,請點 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本公開實施例涉及芯片封裝結(jié)構(gòu)。背景技術(shù)半導(dǎo)體集成電路產(chǎn)業(yè)已經(jīng)歷快速成長。集成電路材料與設(shè)計的技術(shù)進步,產(chǎn)生一代又一代的集成電路。每一代的集成電路均比前一代具有更小且更復(fù)雜的電路。然而這些進產(chǎn)亦增加集成電路工藝的復(fù)雜度。在集成電路革新中,功能密度(每單位面積的內(nèi)連線裝置數(shù)目)增加,而幾何尺寸(如工藝所能形成的最小構(gòu)件或線路)隨之縮小。上述尺寸縮小的工藝通常有利于增加產(chǎn)能并降低相關(guān)成本。然而,結(jié)構(gòu)尺寸持續(xù)縮小造成工藝越來越難實施。如此一來,如何形成越來越小且可信的半導(dǎo)體裝置為目前挑戰(zhàn)。發(fā)明內(nèi)容本公開...
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